“老胡，來。咱們一起合影留念！”這時，董教授朝正在觀看工作站顯示屏的胡明鎮，使勁的招手。
“對！這麽重要的時刻，咱們一定要記錄下來。”
“小梁、老郝，你們都一起來合影留念。”
董教授、單教授等一幹院士級專家教授們都非常興奮，抑製不住內心的激動。他們都在手舞足蹈的說著話。
光刻矽晶圓片的速度非常快，兩分鍾不到就可以給一片8英寸的矽晶圓片完成曝光流程工藝。因為這次給朱雀·酷睿i芯片做流片工程，其實就是一次測試。胡明鎮沒安排批量生產，隻讓手下的團隊準備了10片矽晶圓片。
在董教授等人邀請他合影留念的時候，正在工作的krf光刻機已經完成了給第一片矽晶圓片曝光照相的流程，用時在95秒左右。這個速度在目前來說應該是全球第一，要遠遠超過那三台從米國運來的krf光刻機。
不但如此，胡明鎮設計的這台第三代光刻機，一直秉承了鳴芯製造公司的傳統，采用雙工製程工藝，擁有兩個工作台。
在劉教授這幫人激動不已手舞足蹈的時候，這台光刻機的激光頭已經挪動位置，轉到另外一個工作台上開始掃描掩膜片，給矽晶圓片曝光。
於此同時，另外一隻檢驗激光頭開始工作，給已經曝光好的矽晶圓片做檢驗，執行矽晶圓片蝕刻工藝前的驗片製程工藝。
這一套製程工藝都是一鳴集團公司的foundry製程專利技術，一般情況下是不對外開發的。
劉教授、董教授和單教授等一般院士專家，也是沾了光，要向總部首長匯報全國首台第三代光刻機科研成果，才得以在這麽機密的環境裏近距離觀看芯片光刻製程工藝流程。所以這幫人非常激動，有點把持不住自己。
看了看這些個鬢發花白的專家教授，胡明鎮含著笑微微一搖頭，“老劉，合影留念的事情咱們不著急，等驗片結果出來再說吧。”
芯片光刻、驗片都是微觀的精密工藝，用肉眼是不能檢驗出結果。隻能通過電腦模擬顯示光刻流程和驗片流程是情況。
梁宋鬆此時的工作就是在觀察芯片掃描光刻的驗片數據結果，兩隻眼睛一眨不眨的盯著工作站的顯示屏。突然，他大笑一聲，“成了，老師。第一片矽晶片光刻成品率達到百分之一百！”
說完這些，他一躍而起，從電腦轉椅上跳了起來。
雖然說光刻流程工藝僅僅是芯片流片製程工藝的第一步，後續的工序仍然會降低芯片成品率，但百之一百的成功率還是值得慶賀的。
“百分一百的成品率？這麽厲害？”劉教授聽到這個數據，頓時有點瞠目結舌了。
其他的專家教授們也是如此，頓時都跑到那台工作站的顯示屏旁邊，想要一睹為快。
此時此刻，電腦屏幕上顯示的一組組圖形比對數據，並沒有什麽芯片物理圖形，不是很直觀。但那些一組組的比對數據卻可以明確的指出，第一片矽晶圓片的曝光光刻成功率。
“各位專家，我們這台光刻機采用掃描式曝光製程工藝，其原理和複印機的掃描流程很像。當激光頭從掩膜片的上方掃過，激光就把掩膜片上的物理電路圖曝光到矽晶圓片的光刻膠塗層，留下電路圖的影像……”
梁宋鬆指著電腦屏幕，把電腦屏幕上模擬的光刻流程、矽晶圓片比對流程等製程工藝流程，一一跟這些專家們介紹一番。
這些專家們理論知識比較豐富，第三代光刻機的光刻製程工藝卻比較陌生。
特別是胡明鎮發明的finfet製程工藝，他們隻是在專業雜誌上看過技術論文報道，根本沒親眼見識過。今天能有這次機會親眼看到krf光刻機實施光刻、驗片等工藝流程，總算是開了眼界。
“這套係統的技術確實強，已經超過我所意料之外。”
“真沒想到，我們華國也能製造出這種尖端精密設備！”
“胡教授，你們給我們國家爭光了。”
劉教授、董教授、單教授等人嘖嘖稱讚，臉上浮現出崇敬不已的表情。
不服氣不行啊，事實就擺在眼前。
這幫教授們此時都在打著小算盤，準備迴去立即鼓動自己的學生來一鳴集團公司任職。“為甚要出國留學？去鳴芯製造公司任職比留學還要強許多啊！”他們都如是想著。
這時候，梁宋鬆洋洋得意的介紹，“各位專家，雙工製程工藝、finfet製程工藝、掃描式製程工藝等先進的製程工藝，都是我們團隊和老師研發的，在第二代光刻機上已經得到過驗證。
“不但如此，我們這台光刻機還應用了浸入式製程工藝。把光刻精度再次提高一大截。這種浸入式製程工藝在全球都是一絕，米國佬就是為了得到這種製程工藝才贈送我們三台krf光刻機的……”
劉教授等人雖然從新聞報道上聽說過梁宋鬆所說得的典故，但現在親耳聽到這段故事，心情激動的不行，宛如喝了蜂蜜一樣。
“我們華國有這種尖端技術，並不比老外的水平差！”他們都心潮澎湃，胸膛不由自主的挺了起來，腰杆子也值了。
“不要瞎吹了，快準備好拍照留念的事情。”這時候，芯片技術大咖胡明鎮卻給梁宋鬆下達掃興的命令。
梁宋鬆沒辦法，隻好朝各位專家們歉意的笑了笑，開始準備布置木椅、幕布、照相機等設施。他也知道，自己的老師這是在故意支開自己，不讓自己在這裏誇讚老師和團隊的功績。
“老胡，從現在的情況來看，這台光刻機的性能應該達到設計要求了吧？”劉教授意猶未盡，瞥了一眼離去的梁宋鬆，然後走到胡明鎮的身旁。
而胡明鎮卻微微搖頭，“按照我的本意，這台光刻機的速度要達到每分鍾曝光一片矽晶圓片。但由於機械、光源功率、光源精度等因素的影響，我們的速度隻能達到設計數據的67%。慚愧啊……”
即便這台光刻機有可能是全球目前最先進的光刻機，胡明鎮對自己的作品還是感到有些不滿意。
“老胡，你就不要矯情了。有了這台光刻機，我們的腰杆子已經直起來嘍！”就在這時，章釹京來到光刻室的門衛，咧著大嘴笑嗬嗬的打趣。
“對！這麽重要的時刻，咱們一定要記錄下來。”
“小梁、老郝，你們都一起來合影留念。”
董教授、單教授等一幹院士級專家教授們都非常興奮，抑製不住內心的激動。他們都在手舞足蹈的說著話。
光刻矽晶圓片的速度非常快，兩分鍾不到就可以給一片8英寸的矽晶圓片完成曝光流程工藝。因為這次給朱雀·酷睿i芯片做流片工程，其實就是一次測試。胡明鎮沒安排批量生產，隻讓手下的團隊準備了10片矽晶圓片。
在董教授等人邀請他合影留念的時候，正在工作的krf光刻機已經完成了給第一片矽晶圓片曝光照相的流程，用時在95秒左右。這個速度在目前來說應該是全球第一，要遠遠超過那三台從米國運來的krf光刻機。
不但如此，胡明鎮設計的這台第三代光刻機，一直秉承了鳴芯製造公司的傳統，采用雙工製程工藝，擁有兩個工作台。
在劉教授這幫人激動不已手舞足蹈的時候，這台光刻機的激光頭已經挪動位置，轉到另外一個工作台上開始掃描掩膜片，給矽晶圓片曝光。
於此同時，另外一隻檢驗激光頭開始工作，給已經曝光好的矽晶圓片做檢驗，執行矽晶圓片蝕刻工藝前的驗片製程工藝。
這一套製程工藝都是一鳴集團公司的foundry製程專利技術，一般情況下是不對外開發的。
劉教授、董教授和單教授等一般院士專家，也是沾了光，要向總部首長匯報全國首台第三代光刻機科研成果，才得以在這麽機密的環境裏近距離觀看芯片光刻製程工藝流程。所以這幫人非常激動，有點把持不住自己。
看了看這些個鬢發花白的專家教授，胡明鎮含著笑微微一搖頭，“老劉，合影留念的事情咱們不著急，等驗片結果出來再說吧。”
芯片光刻、驗片都是微觀的精密工藝，用肉眼是不能檢驗出結果。隻能通過電腦模擬顯示光刻流程和驗片流程是情況。
梁宋鬆此時的工作就是在觀察芯片掃描光刻的驗片數據結果，兩隻眼睛一眨不眨的盯著工作站的顯示屏。突然，他大笑一聲，“成了，老師。第一片矽晶片光刻成品率達到百分之一百！”
說完這些，他一躍而起，從電腦轉椅上跳了起來。
雖然說光刻流程工藝僅僅是芯片流片製程工藝的第一步，後續的工序仍然會降低芯片成品率，但百之一百的成功率還是值得慶賀的。
“百分一百的成品率？這麽厲害？”劉教授聽到這個數據，頓時有點瞠目結舌了。
其他的專家教授們也是如此，頓時都跑到那台工作站的顯示屏旁邊，想要一睹為快。
此時此刻，電腦屏幕上顯示的一組組圖形比對數據，並沒有什麽芯片物理圖形，不是很直觀。但那些一組組的比對數據卻可以明確的指出，第一片矽晶圓片的曝光光刻成功率。
“各位專家，我們這台光刻機采用掃描式曝光製程工藝，其原理和複印機的掃描流程很像。當激光頭從掩膜片的上方掃過，激光就把掩膜片上的物理電路圖曝光到矽晶圓片的光刻膠塗層，留下電路圖的影像……”
梁宋鬆指著電腦屏幕，把電腦屏幕上模擬的光刻流程、矽晶圓片比對流程等製程工藝流程，一一跟這些專家們介紹一番。
這些專家們理論知識比較豐富，第三代光刻機的光刻製程工藝卻比較陌生。
特別是胡明鎮發明的finfet製程工藝，他們隻是在專業雜誌上看過技術論文報道，根本沒親眼見識過。今天能有這次機會親眼看到krf光刻機實施光刻、驗片等工藝流程，總算是開了眼界。
“這套係統的技術確實強，已經超過我所意料之外。”
“真沒想到，我們華國也能製造出這種尖端精密設備！”
“胡教授，你們給我們國家爭光了。”
劉教授、董教授、單教授等人嘖嘖稱讚，臉上浮現出崇敬不已的表情。
不服氣不行啊，事實就擺在眼前。
這幫教授們此時都在打著小算盤，準備迴去立即鼓動自己的學生來一鳴集團公司任職。“為甚要出國留學？去鳴芯製造公司任職比留學還要強許多啊！”他們都如是想著。
這時候，梁宋鬆洋洋得意的介紹，“各位專家，雙工製程工藝、finfet製程工藝、掃描式製程工藝等先進的製程工藝，都是我們團隊和老師研發的，在第二代光刻機上已經得到過驗證。
“不但如此，我們這台光刻機還應用了浸入式製程工藝。把光刻精度再次提高一大截。這種浸入式製程工藝在全球都是一絕，米國佬就是為了得到這種製程工藝才贈送我們三台krf光刻機的……”
劉教授等人雖然從新聞報道上聽說過梁宋鬆所說得的典故，但現在親耳聽到這段故事，心情激動的不行，宛如喝了蜂蜜一樣。
“我們華國有這種尖端技術，並不比老外的水平差！”他們都心潮澎湃，胸膛不由自主的挺了起來，腰杆子也值了。
“不要瞎吹了，快準備好拍照留念的事情。”這時候，芯片技術大咖胡明鎮卻給梁宋鬆下達掃興的命令。
梁宋鬆沒辦法，隻好朝各位專家們歉意的笑了笑，開始準備布置木椅、幕布、照相機等設施。他也知道，自己的老師這是在故意支開自己，不讓自己在這裏誇讚老師和團隊的功績。
“老胡，從現在的情況來看，這台光刻機的性能應該達到設計要求了吧？”劉教授意猶未盡，瞥了一眼離去的梁宋鬆，然後走到胡明鎮的身旁。
而胡明鎮卻微微搖頭，“按照我的本意，這台光刻機的速度要達到每分鍾曝光一片矽晶圓片。但由於機械、光源功率、光源精度等因素的影響，我們的速度隻能達到設計數據的67%。慚愧啊……”
即便這台光刻機有可能是全球目前最先進的光刻機，胡明鎮對自己的作品還是感到有些不滿意。
“老胡，你就不要矯情了。有了這台光刻機，我們的腰杆子已經直起來嘍！”就在這時，章釹京來到光刻室的門衛，咧著大嘴笑嗬嗬的打趣。