董教授的話中打著埋伏,是要當著眾人的麵跟胡明鎮還價。作為工程院的學術帶頭人,他是有資格引進一鳴集團公司製造的高精度檢測儀器係統。

    但這種耗資七八千萬的大型科研項目,還是要通過會議集體來決策。而今天的現場的院士都有資格參加會議討論作出決策,董教授趁機提出這條建議,讓大家有點心理準備。

    “我支持老董的意見。不過胡教授,你們一鳴集團公司也應該給我們一個特優惠的報價,我們工程院的課題資金費實在太緊張了。”

    “老韓說得對。這項目一旦被批準,我們的課題費都要被削減。”

    “老胡啊,你行行好。為了我們華國的科研事業,你這邊一定要壓縮成本再壓縮!”

    劉教授、單教授等人都笑眯眯拿胡明鎮開玩笑,半真半假的在壓價。

    胡明鎮經驗豐富,怎麽會聽不出來?“各位專家,無論我們怎麽壓縮陳本,光刻室裏的這套高精度檢測儀器係統,造價不會低於七千萬元呐。”他微皺著眉頭解釋。

    “各位院士,我老師說得沒錯。我們集團公司為了研發這台光刻機,總共投入十三億多元。激光光路係統花了三億多,主體係統也隻有兩億多。其他的費用就是花在這些精密儀器研發的方麵。”

    這時,梁宋鬆也出來幫忙,給老師胡明鎮解圍。

    聽他說完這番話,光刻室裏的各位專家教授們頓時都大驚失色。

    “一個課題項目燒了十三億多,我的乖乖!”

    “由此看來,光刻機項目也隻能讓企業牽頭來搞。我們這些科研教學單位肯定搞不起來。”

    “是啊,一鳴集團公司真的願意在科技創新方麵花大錢,不像有的企業就是一句空話。”

    劉教授等人都在咂舌驚歎,也不好意思再往下還價了。胡明鎮雖然沒說出這種高精度檢測儀器的成本分項,他們也能猜測到其中的配件肯定非常貴。

    於是乎,董教授跟大家一合計,決定先在京師科學院搞一個實驗室中心,把光刻室的這套高精度測量係統引進過去。

    做完決策,他又笑眯眯的跟胡明鎮商量,“老胡,我們準備跟貴集團公司合作,在南安創辦一個電子大學。你們單位也要投資,最好就把這套精密測驗儀器係統配置到大學實驗室裏。”

    “這個辦法好,我舉雙手讚成。”劉教授聽出董教授話中的含義,在一旁配合著笑道。

    他們這個打算很精明,通過這番操作,華夏科學院立即就能獲得兩個高檔的實驗室,實驗室的裝備水平在全球都算是一流的。

    胡明鎮聽到這番話,心裏在猶豫。

    “這麽重大的投資,我也無權決策啊。不過。各位專家,我們許董一向喜歡在新技術方麵投入巨資,咱們合作辦學的這個電子大學。我想他應該會批準的。”他隻能含糊其辭的說著客套話,並沒有拒絕董教授等人的提議。

    “隻要許董願意投資,我們這聯合辦學的大學就由許董來命名。”

    “對,我建議讓許董親自任校長!”

    董教授、劉教授等人笑嗬嗬的跟著補刀,想把這個決策給坐實了。

    就在這時,負責光刻機整機聯動調試的郝寧教授,朝胡明鎮招了招手,“胡總,我們剛才已經模擬運行過一次,這台光刻機的各項參數、性能指標等都正常。咱們是不是該進行下一步的芯片流片工程測試?”

    按照光刻機本來的調試流程,一定要通過三次模擬實驗以後才能開始進行流片測試。但為了趕時間,郝寧教授才會這麽詢問胡明鎮。

    胡明鎮聞言,稍稍猶豫了片刻。他性格謹慎,從來都不喜歡冒險。但是為了政治任務,隻好微微點頭,“老郝,我同意執行流片測試程序。”

    “好!”

    郝寧教授朝負責流片的技術員們一揮手,“立即執行流片工程測試程序!”

    隨著他這一聲令下,光刻室裏的技術員們頓時都忙碌起來,做流片工序的準備工作。

    芯片流片非常講究,僅僅光刻室裏就由許多道製程工藝組成。

    比如說,蝕刻掩膜片、給掩膜片塗抹光刻膠、清潔激光頭、激光頭校準對焦……等等等等。

    這些工序的精度要求都非常高,而且要在無塵狀態操作,不得馬虎。

    不但如此,光刻室的燈光照明、聲波、震動波、電磁波、溫度、濕度等技術參數都有嚴格的規定,否則都會影響光刻矽晶圓片的精度,影響流片的成品率。

    “老胡,這台設備我們已經測試過很多次,也通過好幾次實戰,應該沒問題。”郝寧教授見胡明鎮的目光一直都盯著光刻機工作站的電腦顯示屏,所以才特意走來寬慰幾句。

    胡明鎮聞言收迴目光,朝郝寧教授頷首點頭,“我知道這次流片測試應該問題不大。但總是感到有些不踏實。”

    “是不是就像準備去參加高考一樣?”站在他身旁的劉教授說起玩笑話,拿胡明鎮開心。

    玩笑話雖然是玩笑話,但跟胡明鎮此時的心態有點類似。作為搞技術研發的一名專家,每當自己的科研項目接受論證審查時,應該都是這種心態的。

    一個半小時以後,梁宋鬆對這台光刻機再三巡查了一遍,然後朝胡明鎮伸出兩個大拇指,“報告胡總,全國產第一台krf光刻機已經做好準備,下麵要開始執行光刻製程工序,請指示。”

    “開始!”

    胡明鎮猛然一揮手。

    “嘟嘟嘟……”隨著這一聲令下,這台光刻機主體係統上方的報警燈開始閃爍,隔絕玻璃門開始緩緩關閉。

    “好啊,終於開始了。”

    “這是一個偉大的時刻!”

    “我們這些人都在見證曆史啊。”

    看到這一幕,劉教授、董教授、單教授等人都非常激動,嘴裏忍不住嘮嘮叨叨的說著話。

    因為他們這些人跟胡明鎮一樣,也是第一次見證這台全國產第三代光刻機的正式執行光刻製程工藝。

    這是一個值得紀念的時刻!

    劉教授特意看了看自己的手表,時間是:“1997年,2月16日淩晨0點19分30秒!”

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