賈東旭站在機械廠那略顯陳舊的辦公室裏,窗外的陽光透過有些斑駁的玻璃灑在地上,形成一片片光影。此時的他,剛剛忙完組建光刻機研發團隊的大事,可臉上卻沒有絲毫懈怠後的輕鬆,反而眉頭緊鎖,眼神中滿是思索。他心裏清楚,要想真正研發出中國自己的光刻機,光有團隊還遠遠不夠,還得進行全麵的產業鏈布局,把每一個環節都牢牢抓在手裏。


    “這產業鏈布局,就像是一場沒有硝煙的戰爭,每一步都得小心翼翼,走錯一步,可能就滿盤皆輸。”賈東旭喃喃自語道。


    一、光學組件的艱難突破


    鏡頭,那可是光刻機的“眼睛”,至關重要。而要生產出高質量的鏡頭,高純度光學玻璃是關鍵。賈東旭把目光投向了成都光明光電。他親自跑到成都,和成都光明光電的領導談合作。


    “領導,咱們現在搞光刻機研發,這高純度光學玻璃熔煉線可少不了。我知道你們廠在光學玻璃方麵有基礎,要是能合作建一條熔煉線,那對咱們國家的光刻機事業可是大好事啊!”賈東旭誠懇地說道。


    成都光明光電的領導聽了,有些猶豫:“這可不是個小工程,投資大,風險也不小,而且咱們也沒做過這麽高精度的光學玻璃。”


    賈東旭一聽,趕忙把係統提供的技術資料和未來光刻機市場的前景詳細地介紹了一番。“您看,隻要咱們把這熔煉線建起來,以後不僅能供應光刻機的需求,還能開拓其他高端光學產品市場,前景一片光明啊!”


    經過多次溝通和協商,成都光明光電終於被賈東旭說服,決定合作建立高純度光學玻璃熔煉線。從選址、設備采購到人員培訓,賈東旭都全程參與,忙得腳不沾地。


    1986年,這條凝聚著無數人心血的熔煉線終於建成並投產。當第一枚na=0.35鏡頭被生產出來時,整個車間都沸騰了。雖然良品率隻有60%,但這已經是一個了不起的開端。賈東旭看著那枚鏡頭,眼眶微微濕潤:“這隻是第一步,我們一定會越來越好的。”


    在光源方麵,汞燈g線光源是現階段的主要選擇。賈東旭找到了北京電光源研究所,希望能聯合開發。


    “所長,我們光刻機研發急需穩定高效的汞燈g線光源,你們所在這方麵有研究基礎,咱們一起合作,肯定能攻克這個難題!”賈東旭滿懷期待地說。


    北京電光源研究所的所長很感興趣,但也提出了困難:“汞燈的壽命和穩定性一直是個問題,要達到光刻機的要求,可不是件容易的事。”


    賈東旭點點頭:“我知道難,但隻要我們齊心協力,肯定能行。我們有一些技術資料可以共享,大家一起想辦法。”


    於是,雙方組建了聯合研發小組,日夜攻關。經過無數次的實驗和失敗,終於在1987年取得了突破,實現了汞燈2000小時的壽命。雖然和同期日本的3000小時還有差距,但已經能滿足現階段光刻機研發的基本需求。


    二、精密機械的穩步推進


    工作台和對準係統是精密機械部分的核心。上海機床廠在精密製造方麵有深厚的底蘊,賈東旭再次來到上海,和上海機床廠商討建立恆溫車間生產氣浮導軌的事宜。


    “領導,這恆溫車間對生產高精度氣浮導軌至關重要,隻有在穩定的溫度環境下,才能保證導軌的精度。咱們一起幹,肯定能為光刻機打造出最精準的‘腳’!”賈東旭充滿激情地說道。


    上海機床廠的領導被賈東旭的熱情和誠意打動,決定全力支持。從車間的設計建設到設備的安裝調試,每一個環節都嚴格把關。


    1988年,恆溫車間正式投入使用,生產出的氣浮導軌定位精度達到了±0.02μm。雖然離最終目標還有一點距離,但這已經是國內精密機械製造領域的一次重大突破。


    對準係統的關鍵在d圖像傳感器。賈東旭來到西安光機所,尋求合作。“所長,這光刻機的對準係統就靠d圖像傳感器了,你們所在光學成像方麵技術領先,一定要幫我們這個忙!”賈東旭急切地說。


    西安光機所的所長表示願意合作,但也坦言:“這高精度d圖像傳感器研發難度很大,我們需要時間和資源。”


    賈東旭馬上承諾:“資源方麵我們全力支持,時間上我們也會合理安排,大家一起努力,攻克這個難關。”


    經過幾年的努力,1989年,西安光機所成功開發出滿足要求d圖像傳感器,實現了±0.15μm的對準精度,為光刻機的精密機械部分又添上了重要的一筆。


    三、控製係統的創新發展


    控製係統是光刻機的“大腦”,硬件和軟件都至關重要。賈東旭把目光投向了剛剛興起的深圳華強北。當時的華強北已經初現電子產業集聚的雛形,充滿了活力和機遇。


    賈東旭在華強北四處奔波,尋找合適的合作夥伴建立pcb生產線。“老板,咱們一起建pcb生產線,生產16位運動控製卡,這可是光刻機的核心硬件之一,市場前景不可限量!”賈東旭向一位電子廠老板推銷著自己的想法。


    很多老板一開始都持懷疑態度:“這16位運動控製卡技術要求高,我們能行嗎?而且市場能接受嗎?”


    賈東旭耐心地解釋:“我有技術支持,隻要我們把質量做好,市場肯定沒問題。這不僅是為了光刻機,也是為了咱們電子產業的升級啊!”


    經過一番努力,終於有幾家有遠見的企業願意和賈東旭合作。1987年,pcb生產線順利建成並量產16位運動控製卡,為光刻機的硬件控製係統打下了堅實的基礎。


    在軟件方麵,賈東旭與中科院軟件所合作。“所長,咱們一起開發光刻機專用操作係統,實現自動對準與曝光控製,這對光刻機的智能化和自動化至關重要!”賈東旭誠懇地說道。


    中科院軟件所的所長深知這個項目的難度和意義:“這是個艱巨的任務,但我們願意挑戰。不過,我們需要詳細的需求分析和技術對接。”


    賈東旭馬上組織團隊和中科院軟件所進行深入溝通,把光刻機的工作流程和控製需求一一梳理清楚。經過兩年的努力,1988年,光刻機專用操作係統成功開發,實現了自動對準與曝光控製,讓光刻機的控製更加精準和高效。


    四、產業鏈初成,展望未來


    經過幾年的不懈努力,賈東旭帶領團隊初步完成了光刻機產業鏈的布局。每一個環節的突破,都凝聚著無數人的心血和汗水。看著這條逐漸成型的產業鏈,賈東旭心中感慨萬千。


    “這幾年,大家都辛苦了。我們從無到有,一步步走到現在,不容易啊!但這還隻是開始,我們要繼續努力,不斷提升產業鏈的各個環節,讓中國的光刻機在世界上占據一席之地!”賈東旭在團隊會議上激動地說道。


    團隊成員們紛紛點頭,眼中閃爍著堅定的光芒。他們知道,未來的路還很長,還有很多挑戰等著他們。但隻要大家齊心協力,就沒有克服不了的困難。


    在這個充滿希望的時刻,賈東旭的心中已經開始謀劃下一步的發展。他知道,隨著技術的不斷進步和市場的變化,產業鏈還需要不斷優化和升級。他將繼續帶領團隊,在光刻機研發的道路上奮勇前行,為中國的科技事業書寫更加輝煌的篇章。

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