第二天,晶華晶圓廠禮堂。
首先是由李東發表了一篇又臭又長的感謝致辭,大概意思是水木大學專家組如何如何厲害,很快就把廠裏存在了多年的問題,然後慷慨激昂地著重描繪了一番自己的宏圖偉業,不過大多都是一些套話空話,聽得台下的人都快要睡著了。
“接下來,有請水木大學專家組的王向中同誌,來發表講話!”李東倒是完全不在乎台下觀眾的態度,依然是笑意盈盈地說道。
見到發言者終於要換人了,不少人也是醒了醒瞌睡,隨即台下響起了稀稀拉拉的掌聲。
會議進行到了這裏,台下的人都已經認為接下來沒什麽可以聽的東西,大概就是走個過場這樣子,因此是也情緒比較懶散。
不過在前排嘉賓席上的研究生們大多卻是滿眼震驚之色,皆是麵麵相覷起來。
“這個王向中是不是那個小師弟?”
“卻是是他啊,怎麽不是由葉老來致辭嗎?”
“他也能代表我們專家組嗎?”
研究生人群裏,也是爆發出了一陣竊竊私語。
這一切當然被王向中盡收眼底,站在台上,下麵的人在幹什麽,有什麽樣的表情,又在偷偷討論什麽,台上的人都能看得一清二楚。
不過他並不在意這些無聊的討論,隻是輕輕清了一下嗓子,旋即便開口道:“同誌們,朋友們,剛才李董已經說了很多了,那我也就不廢話,咱們直接切入正題。”
台下的晶華員工們本來都瞌睡了,但是見到上台發言的人竟然是一個毛頭小孩,不少人皆是驚得下巴都快掉了下來,頓時間困意全無。
“晶華現在已經解決了第一重困難,在過去的一個月裏,我們已經把廠裏原來的矽片流水線給遷走了,現在的晶華,已經初步具備4英寸和5英寸晶圓的生產能力了。”
“爾後我們製定了一套培訓方案,要求各位領導和同誌們執行,現在看來,執行情況也是比較好的。”
“所以我們接下來的主要任務,就是配合晶華,提升現有的光刻精度,努力在一年內,將晶華現有光刻機的工藝節點,盡量提升到0.5微米以內,如果能提升到極限是自然是最好的。”
此話一出,台下一片嘩然。
“什麽?”
“這小子怕是瘋了吧?”
不少人皆是麵色古怪地看向台上的王向中,畢竟這種言論還是太嚇人了,這裏可是晶華晶圓廠啊,在工程部門工作的人,大多都是懂行的,提升光刻機的分辨率這種說法幾乎可以等同於胡說八道。
台下來自水木大學的研究生們此時更是紛紛炸開了鍋,他們倒是聽自己的導師提到過此次任務的艱巨性,但沒想到王向中一開始就跳出來給他們安排了一個幾乎不可能的任務。
“王師弟,我有一個問題。”台下的黃曉明突然舉手道,“這可不是光憑你一句話就能決定的事情,提升光刻機工藝是一件很複雜的事情。”
盡管他已經在白馬和金圓圓口中聽到了關於王向中的諸多傳說,但他相信眼見為實,耳聽為虛,因此也趁機提出了自己的質疑。
“問的不錯,”王向中笑道。台下諸位的反應並沒有出乎他的意料,現在自己遭到眾人的質疑也是相當正常。
“根據瑞利衍射定理,光刻機的分辨率受影像對比度、光源波長和數值孔徑影響。早在你們來之前,我就已經參觀過了晶華的淨室,5英寸生產線所使用的光刻機型號是康尼nsr-1010g,屬於一台i線光刻機。”
“i線光波長在為365nm,所以理論上它最高可以支持0.35微米分辨率。”
這個年代的光刻機既沒有雙工作台,浸潤式光刻技術還沒有被發明出來,因而王向中也隻能保持這個年代公認的說法。
“光源波長已經定死了,所以我們剩下能做的,就是提高基礎工藝水平,以及提高數值孔徑。”
聽到這些話,台下的研究生們臉色才算是好看了一些,但如果隻是這點理論的話,也完全不足以支撐整個改進工藝,於是便有人忍不住說道:“那我們怎麽提高數值孔徑呢?”
“數值孔徑的提升有兩個辦法,那就是改良透鏡組,提升它的外鏡直徑,或者是減小透鏡曲率半徑,兩者都是比較好的選擇。”王向中沉吟道。
“改良透鏡組……”台下一名戴眼鏡的ie工程師(industrialengineer,工程工藝工程師)終於忍不住了,似是有些不屑地提問道:“外鏡直徑說提升就能提升?透鏡難道可以手工打磨?你簡直是在胡說八道,我真是聽不下去了。”
“你是不是以為自己能比康尼研發部還聰明?他們做不到的事情你就能做到,你以為你是誰?”他繼續嘲諷道,“你知道鏡頭玻璃的技術指標嗎?先不說咱們能不能把鏡頭造出來,你們現在難道已經有了設計圖紙嗎?”
聽到這話,不少人也是臉色一變,看向王向中的眼神也不太信任起來。
“這幾台康尼光刻機的基礎工藝因子係數已經調教得很好了,基本接近於0.3,想通過提升對比度方式的工藝提升很有限。而且你擅自改動透鏡組參數,勢必也要調整光源功率,到時候又會引發更多的問題。”另一名ie工程師說道,他倒沒有半分鄙視王向中的意思,不過那雙眼睛裏滿滿的都是擔憂之色。
光刻機是一個整體的係統,如果改動了其中一個參數,那便是牽一發而動全身的事情,幾乎要將其它相關聯的所有參數改動個遍,而這也是改進光刻機工藝比較難的原因之一。
“除非你可以搞到國外的新透鏡組零件,否則一切免談!”戴眼鏡的ie工程師擺了擺手,便也不再發言。
聽言,王向中也是深深皺了皺眉頭。
倒不是因為那兩人質疑聲有什麽問題,恰恰相反,他們的疑問都是有根有據的,但王向中怎麽又會考慮不到這些問題呢?
但是要這麽輪番提問下去,這個大會到明天都開不完。
“大家稍安毋躁,有關於這些問題的解決方案,我都已經做過一番推演了。你們所提到的問題,其實都不是問題。”王向中突然將嗓門提高了幾度。
首先是由李東發表了一篇又臭又長的感謝致辭,大概意思是水木大學專家組如何如何厲害,很快就把廠裏存在了多年的問題,然後慷慨激昂地著重描繪了一番自己的宏圖偉業,不過大多都是一些套話空話,聽得台下的人都快要睡著了。
“接下來,有請水木大學專家組的王向中同誌,來發表講話!”李東倒是完全不在乎台下觀眾的態度,依然是笑意盈盈地說道。
見到發言者終於要換人了,不少人也是醒了醒瞌睡,隨即台下響起了稀稀拉拉的掌聲。
會議進行到了這裏,台下的人都已經認為接下來沒什麽可以聽的東西,大概就是走個過場這樣子,因此是也情緒比較懶散。
不過在前排嘉賓席上的研究生們大多卻是滿眼震驚之色,皆是麵麵相覷起來。
“這個王向中是不是那個小師弟?”
“卻是是他啊,怎麽不是由葉老來致辭嗎?”
“他也能代表我們專家組嗎?”
研究生人群裏,也是爆發出了一陣竊竊私語。
這一切當然被王向中盡收眼底,站在台上,下麵的人在幹什麽,有什麽樣的表情,又在偷偷討論什麽,台上的人都能看得一清二楚。
不過他並不在意這些無聊的討論,隻是輕輕清了一下嗓子,旋即便開口道:“同誌們,朋友們,剛才李董已經說了很多了,那我也就不廢話,咱們直接切入正題。”
台下的晶華員工們本來都瞌睡了,但是見到上台發言的人竟然是一個毛頭小孩,不少人皆是驚得下巴都快掉了下來,頓時間困意全無。
“晶華現在已經解決了第一重困難,在過去的一個月裏,我們已經把廠裏原來的矽片流水線給遷走了,現在的晶華,已經初步具備4英寸和5英寸晶圓的生產能力了。”
“爾後我們製定了一套培訓方案,要求各位領導和同誌們執行,現在看來,執行情況也是比較好的。”
“所以我們接下來的主要任務,就是配合晶華,提升現有的光刻精度,努力在一年內,將晶華現有光刻機的工藝節點,盡量提升到0.5微米以內,如果能提升到極限是自然是最好的。”
此話一出,台下一片嘩然。
“什麽?”
“這小子怕是瘋了吧?”
不少人皆是麵色古怪地看向台上的王向中,畢竟這種言論還是太嚇人了,這裏可是晶華晶圓廠啊,在工程部門工作的人,大多都是懂行的,提升光刻機的分辨率這種說法幾乎可以等同於胡說八道。
台下來自水木大學的研究生們此時更是紛紛炸開了鍋,他們倒是聽自己的導師提到過此次任務的艱巨性,但沒想到王向中一開始就跳出來給他們安排了一個幾乎不可能的任務。
“王師弟,我有一個問題。”台下的黃曉明突然舉手道,“這可不是光憑你一句話就能決定的事情,提升光刻機工藝是一件很複雜的事情。”
盡管他已經在白馬和金圓圓口中聽到了關於王向中的諸多傳說,但他相信眼見為實,耳聽為虛,因此也趁機提出了自己的質疑。
“問的不錯,”王向中笑道。台下諸位的反應並沒有出乎他的意料,現在自己遭到眾人的質疑也是相當正常。
“根據瑞利衍射定理,光刻機的分辨率受影像對比度、光源波長和數值孔徑影響。早在你們來之前,我就已經參觀過了晶華的淨室,5英寸生產線所使用的光刻機型號是康尼nsr-1010g,屬於一台i線光刻機。”
“i線光波長在為365nm,所以理論上它最高可以支持0.35微米分辨率。”
這個年代的光刻機既沒有雙工作台,浸潤式光刻技術還沒有被發明出來,因而王向中也隻能保持這個年代公認的說法。
“光源波長已經定死了,所以我們剩下能做的,就是提高基礎工藝水平,以及提高數值孔徑。”
聽到這些話,台下的研究生們臉色才算是好看了一些,但如果隻是這點理論的話,也完全不足以支撐整個改進工藝,於是便有人忍不住說道:“那我們怎麽提高數值孔徑呢?”
“數值孔徑的提升有兩個辦法,那就是改良透鏡組,提升它的外鏡直徑,或者是減小透鏡曲率半徑,兩者都是比較好的選擇。”王向中沉吟道。
“改良透鏡組……”台下一名戴眼鏡的ie工程師(industrialengineer,工程工藝工程師)終於忍不住了,似是有些不屑地提問道:“外鏡直徑說提升就能提升?透鏡難道可以手工打磨?你簡直是在胡說八道,我真是聽不下去了。”
“你是不是以為自己能比康尼研發部還聰明?他們做不到的事情你就能做到,你以為你是誰?”他繼續嘲諷道,“你知道鏡頭玻璃的技術指標嗎?先不說咱們能不能把鏡頭造出來,你們現在難道已經有了設計圖紙嗎?”
聽到這話,不少人也是臉色一變,看向王向中的眼神也不太信任起來。
“這幾台康尼光刻機的基礎工藝因子係數已經調教得很好了,基本接近於0.3,想通過提升對比度方式的工藝提升很有限。而且你擅自改動透鏡組參數,勢必也要調整光源功率,到時候又會引發更多的問題。”另一名ie工程師說道,他倒沒有半分鄙視王向中的意思,不過那雙眼睛裏滿滿的都是擔憂之色。
光刻機是一個整體的係統,如果改動了其中一個參數,那便是牽一發而動全身的事情,幾乎要將其它相關聯的所有參數改動個遍,而這也是改進光刻機工藝比較難的原因之一。
“除非你可以搞到國外的新透鏡組零件,否則一切免談!”戴眼鏡的ie工程師擺了擺手,便也不再發言。
聽言,王向中也是深深皺了皺眉頭。
倒不是因為那兩人質疑聲有什麽問題,恰恰相反,他們的疑問都是有根有據的,但王向中怎麽又會考慮不到這些問題呢?
但是要這麽輪番提問下去,這個大會到明天都開不完。
“大家稍安毋躁,有關於這些問題的解決方案,我都已經做過一番推演了。你們所提到的問題,其實都不是問題。”王向中突然將嗓門提高了幾度。