第254章 第一枚芯片
四合院：悟性逆天，七級工程師 作者：一隻山竹榴蓮 投票推薦 加入書簽 留言反饋
飯後，趙母帶著趙月蘭迴屋休息，趙部長卻叫住了許誌遠。
“誌遠，陪我到院子裏走走。”趙部長的語氣溫和，卻透著幾分深意。
許誌遠點了點頭，跟著嶽父走到院子裏。夜風微涼，趙部長背著手，走到院子中央，停了下來，轉頭看向許誌遠。
“誌遠啊，今天的事，我是真高興。”趙部長語氣裏透著幾分欣慰，“月蘭懷孕了，你又這麽出色，咱們趙家是真的後繼有人了。”
“爸，您別這麽說。”許誌遠笑著說道，“我隻是做了我該做的。”
趙部長點了點頭，臉上的笑容漸漸收斂，語氣變得嚴肅起來：“不過，誌遠，有件事我還是得跟你聊聊。”
“您說，爸。”許誌遠也收起了笑容，認真地看著趙部長。
趙部長沉默了一會兒，輕輕歎了口氣：“我最近聽到一些傳言，說你在搞光刻機的事上……一直沒什麽動靜。誌遠，你是不是遇到什麽難處了？”
許誌遠愣了一下，隨即笑了笑：“爸，這事您不用擔心，我心裏有數。”
趙部長皺了皺眉，語氣中透著擔憂：“誌遠，我不是不相信你，可光刻機的難度，你自己也清楚。那些人可是盯著你呢，一旦你沒搞成，他們絕不會放過你。”
“我知道。”許誌遠點了點頭，眼神卻異常堅定，“爸，我許誌遠不是那種喜歡吹牛的人，更不會拿自己的前途開玩笑。這光刻機，我既然敢接下來，就一定會搞成！”
趙部長盯著他看了幾秒，似乎在判斷他的真心。最終，他歎了口氣，拍了拍許誌遠的肩膀：“誌遠，既然你這麽有信心，那我就不多說了。不過，你一定要量力而行，保住自己最重要，知道嗎？”
許誌遠笑著點了點頭：“爸，您放心吧，到時候我一定讓您看到結果！那些不信我的人，等著瞧好了！”
趙部長看著他那自信的模樣，心裏雖然還有幾分擔憂，但也不好再多說什麽，隻能點了點頭：“好，我等著你給我帶來好消息！”
……
許誌遠站在小世界中央，麵前是那台他耗費無數心血、傾盡全力打造出來的光刻機。
一台占地約兩米長、兩米寬的龐然大物靜靜立在那裏，表麵泛著金屬的冷光，複雜的結構和精密的零件散發著一種獨特的機械美感。
光刻機的核心部件，包括深紫外光源係統、光學投影係統、以及納米級精度的步進掃描平台，一切都被他調試到了最佳狀態。
這是一台第一代光刻機，雖然製程還停留在幾微米級別，但對於這個時代的國內技術水平而言，這已經是前所未有的突破。
許誌遠站在光刻機麵前，深吸了一口氣，目光中充滿了興奮和期待。他知道，這不僅僅是一台機器，而是一個國家工業科技邁出的第一步。
“係統，啟動光刻機。”許誌遠語氣低沉卻堅定，仿佛在宣告一個全新時代的開始。
隨著一聲命令，小世界中的智能係統迅速響應，光刻機開始運轉。
首先啟動的是深紫外光源係統，一束高強度的193納米深紫外激光束在光束整形模塊中被調整成均勻的矩形光斑。隨後，光束通過一係列高精度的光學鏡片和反射鏡組，被投射到掩模版上。
掩模版是許誌遠親手設計並刻蝕的，圖案是一個簡單的邏輯電路——這是他為第一片芯片設計的基礎模板。光束穿過掩模版後，被精準投影到塗有光刻膠的矽片表麵。
矽片被固定在步進掃描平台上，而平台以納米級的精確度緩緩移動，將整個圖案逐步曝光在矽片表麵。
“光學投影係統運行正常，誤差小於0.8微米。”係統的冷靜提示音在小世界中迴蕩。
許誌遠盯著屏幕上的參數，嘴角微微上揚。這台光刻機的性能已經超出了他的預期。
光刻工藝的第一步是將電路圖案通過曝光轉移到矽片上。許誌遠從小世界的材料庫中取出一片原始矽片，將其塗上一層均勻的光刻膠，放在光刻機的步進掃描平台上。
“曝光完成，下一步進行顯影。”係統提示音響起。
許誌遠將曝光後的矽片取下，小心翼翼地放入顯影槽中。顯影液是他根據配方自行調配的，能夠將光刻膠中被曝光的部分溶解，留下未曝光的部分作為掩膜。
顯影完成後，一塊布滿精細電路圖案的矽片呈現在他麵前。許誌遠仔細檢查了矽片表麵，確認圖案清晰且沒有明顯的缺陷。
“接下來是刻蝕。”他低聲自語，隨即將矽片放入等離子刻蝕機中。
刻蝕工藝是光刻機之後的關鍵步驟，通過化學反應將矽片表麵未被掩膜保護的部分去除，形成真正的電路結構。這一步需要極高的精確度，否則會導致整個芯片報廢。
等離子刻蝕機運轉時，發出輕微的嗡鳴聲。許誌遠盯著屏幕上的實時數據，手指不時在控製麵板上調整參數。幾分鍾後，刻蝕完成，矽片被取出。
“刻蝕完成，表麵結構清晰，電路完整。”係統再次給出了正麵反饋。
接下來是掩膜的去除和金屬化工藝。許誌遠將矽片放入化學槽中去除光刻膠，然後通過金屬沉積技術為電路鋪設導電層。經過一係列複雜的工藝之後，第一片芯片終於完成。
許誌遠小心翼翼地將芯片裝載到測試平台上，連接好電源和測試設備。
他設計的這片芯片是一個簡單的邏輯電路，用於驗證光刻機的精度和工藝的完整性。如果這片芯片能夠正常運行，就意味著他的光刻機完全達標。
“係統，啟動測試程序。”許誌遠屏住唿吸，目不轉睛地盯著屏幕。
測試儀器開始工作，芯片的電路被逐一檢測，測試數據實時顯示在屏幕上。
“輸入信號正常……輸出信號正常……邏輯運算正確……功耗符合預期……”係統的提示音一項接一項地響起。
終於，屏幕上出現了一行大字：
“芯片功能測試通過！”
許誌遠整個人僵住了，隨即長長地吐出一口氣，臉上露出了掩飾不住的笑容。他握緊拳頭，忍不住低聲喊了一句：“成了！真的成了！”
他激動地站起來，繞著光刻機轉了一圈，雙手撐在機器上，臉上寫滿了激動和滿足。
“誌遠，陪我到院子裏走走。”趙部長的語氣溫和，卻透著幾分深意。
許誌遠點了點頭，跟著嶽父走到院子裏。夜風微涼，趙部長背著手，走到院子中央，停了下來，轉頭看向許誌遠。
“誌遠啊，今天的事，我是真高興。”趙部長語氣裏透著幾分欣慰，“月蘭懷孕了，你又這麽出色，咱們趙家是真的後繼有人了。”
“爸，您別這麽說。”許誌遠笑著說道，“我隻是做了我該做的。”
趙部長點了點頭，臉上的笑容漸漸收斂，語氣變得嚴肅起來：“不過，誌遠，有件事我還是得跟你聊聊。”
“您說，爸。”許誌遠也收起了笑容，認真地看著趙部長。
趙部長沉默了一會兒，輕輕歎了口氣：“我最近聽到一些傳言，說你在搞光刻機的事上……一直沒什麽動靜。誌遠，你是不是遇到什麽難處了？”
許誌遠愣了一下，隨即笑了笑：“爸，這事您不用擔心，我心裏有數。”
趙部長皺了皺眉，語氣中透著擔憂：“誌遠，我不是不相信你，可光刻機的難度，你自己也清楚。那些人可是盯著你呢，一旦你沒搞成，他們絕不會放過你。”
“我知道。”許誌遠點了點頭，眼神卻異常堅定，“爸，我許誌遠不是那種喜歡吹牛的人，更不會拿自己的前途開玩笑。這光刻機，我既然敢接下來，就一定會搞成！”
趙部長盯著他看了幾秒，似乎在判斷他的真心。最終，他歎了口氣，拍了拍許誌遠的肩膀：“誌遠，既然你這麽有信心，那我就不多說了。不過，你一定要量力而行，保住自己最重要，知道嗎？”
許誌遠笑著點了點頭：“爸，您放心吧，到時候我一定讓您看到結果！那些不信我的人，等著瞧好了！”
趙部長看著他那自信的模樣，心裏雖然還有幾分擔憂，但也不好再多說什麽，隻能點了點頭：“好，我等著你給我帶來好消息！”
……
許誌遠站在小世界中央，麵前是那台他耗費無數心血、傾盡全力打造出來的光刻機。
一台占地約兩米長、兩米寬的龐然大物靜靜立在那裏，表麵泛著金屬的冷光，複雜的結構和精密的零件散發著一種獨特的機械美感。
光刻機的核心部件，包括深紫外光源係統、光學投影係統、以及納米級精度的步進掃描平台，一切都被他調試到了最佳狀態。
這是一台第一代光刻機，雖然製程還停留在幾微米級別，但對於這個時代的國內技術水平而言，這已經是前所未有的突破。
許誌遠站在光刻機麵前，深吸了一口氣，目光中充滿了興奮和期待。他知道，這不僅僅是一台機器，而是一個國家工業科技邁出的第一步。
“係統，啟動光刻機。”許誌遠語氣低沉卻堅定，仿佛在宣告一個全新時代的開始。
隨著一聲命令，小世界中的智能係統迅速響應，光刻機開始運轉。
首先啟動的是深紫外光源係統，一束高強度的193納米深紫外激光束在光束整形模塊中被調整成均勻的矩形光斑。隨後，光束通過一係列高精度的光學鏡片和反射鏡組，被投射到掩模版上。
掩模版是許誌遠親手設計並刻蝕的，圖案是一個簡單的邏輯電路——這是他為第一片芯片設計的基礎模板。光束穿過掩模版後，被精準投影到塗有光刻膠的矽片表麵。
矽片被固定在步進掃描平台上，而平台以納米級的精確度緩緩移動，將整個圖案逐步曝光在矽片表麵。
“光學投影係統運行正常，誤差小於0.8微米。”係統的冷靜提示音在小世界中迴蕩。
許誌遠盯著屏幕上的參數，嘴角微微上揚。這台光刻機的性能已經超出了他的預期。
光刻工藝的第一步是將電路圖案通過曝光轉移到矽片上。許誌遠從小世界的材料庫中取出一片原始矽片，將其塗上一層均勻的光刻膠，放在光刻機的步進掃描平台上。
“曝光完成，下一步進行顯影。”係統提示音響起。
許誌遠將曝光後的矽片取下，小心翼翼地放入顯影槽中。顯影液是他根據配方自行調配的，能夠將光刻膠中被曝光的部分溶解，留下未曝光的部分作為掩膜。
顯影完成後，一塊布滿精細電路圖案的矽片呈現在他麵前。許誌遠仔細檢查了矽片表麵，確認圖案清晰且沒有明顯的缺陷。
“接下來是刻蝕。”他低聲自語，隨即將矽片放入等離子刻蝕機中。
刻蝕工藝是光刻機之後的關鍵步驟，通過化學反應將矽片表麵未被掩膜保護的部分去除，形成真正的電路結構。這一步需要極高的精確度，否則會導致整個芯片報廢。
等離子刻蝕機運轉時，發出輕微的嗡鳴聲。許誌遠盯著屏幕上的實時數據，手指不時在控製麵板上調整參數。幾分鍾後，刻蝕完成，矽片被取出。
“刻蝕完成，表麵結構清晰，電路完整。”係統再次給出了正麵反饋。
接下來是掩膜的去除和金屬化工藝。許誌遠將矽片放入化學槽中去除光刻膠，然後通過金屬沉積技術為電路鋪設導電層。經過一係列複雜的工藝之後，第一片芯片終於完成。
許誌遠小心翼翼地將芯片裝載到測試平台上，連接好電源和測試設備。
他設計的這片芯片是一個簡單的邏輯電路，用於驗證光刻機的精度和工藝的完整性。如果這片芯片能夠正常運行，就意味著他的光刻機完全達標。
“係統，啟動測試程序。”許誌遠屏住唿吸，目不轉睛地盯著屏幕。
測試儀器開始工作，芯片的電路被逐一檢測，測試數據實時顯示在屏幕上。
“輸入信號正常……輸出信號正常……邏輯運算正確……功耗符合預期……”係統的提示音一項接一項地響起。
終於，屏幕上出現了一行大字：
“芯片功能測試通過！”
許誌遠整個人僵住了，隨即長長地吐出一口氣，臉上露出了掩飾不住的笑容。他握緊拳頭，忍不住低聲喊了一句：“成了！真的成了！”
他激動地站起來，繞著光刻機轉了一圈，雙手撐在機器上，臉上寫滿了激動和滿足。