“很好,能量均勻性達到了95%,已經超過預期。”許誌遠點了點頭,臉上浮現出一絲滿意的笑容。


    接下來,他需要解決光源的能量穩定性問題。他從材料堆中取出一塊特製的能量調節模塊,安裝在激光器的輸出端口上。這個模塊能實時監控光束的能量變化,並自動進行調整,確保輸出光束始終保持在設定範圍內。


    “光源係統,完成第一階段。”許誌遠合上激光器的蓋板,目光中透著一抹堅定。


    第二步:光學投影係統的製造


    光學投影係統是光刻機的核心之一,它的作用是將掩模版上的電路圖案精準地投影到矽片上。而這一過程對鏡頭的精度要求極高,鏡片需要達到亞納米級的加工精度,才能確保投影的清晰度和精準度。


    許誌遠走到小世界的一台精密加工設備前。機器的外觀像是一台放大版的車床,但它的內部卻裝備了世界頂尖的光學加工技術。


    “係統,加載鏡片加工程序。”他輸入指令,設備立刻開始運轉。


    一塊直徑50厘米的光學玻璃被裝載到設備中,許誌遠親手調試了加工參數。這塊玻璃將被打磨成一塊具有多層鍍膜的反射鏡,每一層鍍膜的厚度都必須精確到納米級。


    加工過程中,他的目光始終緊盯著屏幕上的參數變化,手指不時在控製麵板上輕輕敲擊,實時調整加工進度。


    幾個小時後,第一塊鏡片加工完成。許誌遠將鏡片取下,放在光學檢測儀下仔細檢查。


    “表麵光滑度達到了0.2納米,反射率接近理論極限。”他嘴角微揚,將鏡片放入光學係統的框架中。


    接下來,他需要加工更多的鏡片,並將它們組裝成一個多層反射鏡組。這個過程極為複雜,但許誌遠的動作始終流暢而穩健,仿佛這是一場早已演練過無數次的操作。


    第三步:步進掃描平台的設計


    光刻機的步進掃描平台負責移動矽片,並確保矽片的位置誤差不超過1納米。這需要極高的機械精度和控製精度。


    “機械精度和控製精度……這才是最考驗人的地方。”許誌遠摸了摸下巴,目光落在一堆高強度金屬材料上。


    他先用數控機床加工出平台的框架,再安裝上高精度的導軌和伺服電機。為了提高平台的穩定性,他在機床上將導軌的表麵打磨到鏡麵光滑,並采用特殊的減震材料對框架進行加固。


    隨後,他開始調試伺服控製係統。這套係統由係統提供的算法支持,可以實時校正平台的運動軌跡,確保矽片在掃描過程中始終保持在設定的軌道上。


    “係統,運行控製模擬。”許誌遠輸入指令,平台立刻開始運轉。


    屏幕上顯示出平台的運動軌跡,誤差範圍始終保持在0.5納米以內。


    “不錯,這個精度已經足夠了。”他滿意地點了點頭。


    第四步:掩模版與光刻膠的研發


    掩模版是光刻機的“模具”,它決定了芯片電路的具體形狀和尺寸。許誌遠從材料堆中取出一塊特製的金屬板,開始在上麵刻蝕電路圖案。


    他使用的是係統提供的高精度刻蝕設備,這台設備能夠在金屬表麵刻出精確到納米級的圖案。


    “完成!”當第一塊掩模版刻蝕完成時,許誌遠長舒了一口氣,將它放入光學係統中進行測試。


    接下來,他需要研發一種新型的光刻膠。這種材料必須對光線高度敏感,同時具備良好的化學穩定性。


    “光刻膠……”許誌遠走到實驗台前,開始調配化學試劑。他根據係統提供的配方,精確地稱量每一種成分,將它們混合在一起。


    “反應完成,實驗光刻膠生成。”許誌遠將一滴光刻膠塗在矽片上,放入光刻機中進行測試。


    許誌遠在小世界中埋頭苦幹,時間仿佛凝固了一般。他的動作越來越快,思路越來越清晰,每一個步驟都精準無誤。


    當最後一顆螺絲擰上時,他站在光刻機的麵前,嘴角浮現出一抹笑意。


    “光刻機,一號樣機,完成!”他輕輕擦了擦額頭的汗水,目光中閃過一抹自信。


    “接下來,就讓那些人見識一下,什麽叫真正的技術實力。”


    ……


    自從上次會後,許誌遠帶著材料迴到軋鋼廠的技術實驗室,便像人間蒸發了一般。


    實驗室門從早到晚緊閉,他也幾乎不再露麵。


    軋鋼廠的技術科員們起初還以為許誌遠要大幹一場,整天圍著實驗室門口竊竊私語,等著看他搞出什麽“動靜”。


    可是等了兩天、三天……甚至一個星期過去了,實驗室裏卻始終安安靜靜,連台機器的轟鳴聲都沒聽到。


    “你們說,許誌遠到底在搞什麽名堂?”食堂裏,幾個技術科員圍在一張桌子旁,端著飯碗小聲議論。


    “還能搞啥?”一個年輕的小王撇了撇嘴,壓低聲音說道,


    “依我看,他就是慫了!搞光刻機?那可是世界級的技術難題,他估計現在被嚇住了,連怎麽開始都不知道吧!”


    老李放下筷子,皺著眉頭嘀咕道:“話也不能這麽說,誌遠這人以前幹過不少大事,數控機床、汽車發動機……哪個不是他說幹就幹成了的?這次雖然難,但也不至於一點動作都沒有吧?”


    “嗐,老李,你是不是被他以前的成績迷住了?”另一名技術員冷笑一聲,


    “這光刻機可不是數控機床,也不是汽車發動機,那些東西頂多是國內技術的突破,可光刻機是國際尖端技術啊!


    國外那些資本主義國家投了幾十年、耗費無數資源才搞出個雛形來,他一個人能幹成?別開玩笑了!”


    “我看啊,”年輕的小王接過話茬,一副看透一切的樣子,“他八成是在實驗室裏瞎琢磨,心裏早就慌了。說不定過幾天就出來承認失敗了!”


    “等著看吧。”有人低聲笑道,“這次,他可是把話放出去了,光刻機搞不成,他自己的臉往哪擱?”


    幾個人互相對視一眼,忍不住輕笑出聲。


    ……

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