第一階段:技術預研與團隊組建


    許誌遠首先意識到,光刻機的研發需要一支專業的團隊,而目前研究所內的技術人員雖然有一定基礎,但對於這麽高精尖的設備,仍然顯得經驗不足。


    他決定從以下幾個方向入手:


    從全國範圍內篩選頂尖的光學、機械、材料學、控製工程領域的專家。


    組建跨學科研發小組,分工明確,包括光源研發組、光學係統組、掩模版設計組、機械控製組、化學處理組等。


    邀請高校的科研力量參與,例如龍國科學院、清華大學等頂尖學府中的專家教授。


    “一個人再聰明,也搞不定光刻機這種技術怪獸。”許誌遠心裏明白,團隊協作是關鍵。


    第二階段:光刻機的核心技術攻關


    根據係統提供的資料,許誌遠將光刻機的關鍵技術分為以下幾個模塊,並提出了每個模塊的攻關目標:


    光源係統:


    使用193納米深紫外(duv)光源作為第一代光刻機的核心光源。


    攻克高功率激光器的設計難點,確保光源的穩定性和高能量輸出。


    高效率的光束整形係統,保證光線均勻分布。


    光學投影係統:


    引進超高精度的光學鏡片,要求達到亞納米級的加工精度。


    研發多層反射鏡技術,提高光線的利用率和成像精度。


    機械控製係統:


    設計高精度的步進掃描平台,確保矽片移動誤差低於1納米。


    開發全新的伺服控製係統,實現實時動態校準。


    掩模版與化學處理:


    製造高精度的掩模版,確保芯片電路圖案的完整性。


    研發新型光刻膠和蝕刻液,保證圖案轉移的清晰度和穩定性。


    第三階段:樣機製造與測試


    樣機設計:基於攻克的核心技術,設計並製造第一代光刻機原型機。


    矽片加工測試:通過樣機對矽片進行光刻測試,評估電路刻蝕的精度和良率。


    優化迭代:根據測試結果,不斷優化光源、鏡片、掩模版等核心部件,提升設備的性能和穩定性。


    第四階段:量產與工業化推廣


    量產計劃:在第一代光刻機樣機通過測試後,製定量產計劃,確保設備能夠滿足龍國工業化需求。


    技術封裝:對核心技術進行加密,防止國外勢力竊取技術成果。


    人才培養:通過研發過程,培養一批掌握光刻機技術的人才,為下一代設備研發奠定基礎。


    許誌遠看著自己寫滿了三大張紙的研發計劃,心中滿是鬥誌。他深知光刻機的研發道路注定坎坷,但他也清楚,這條路一旦踏上,等待他的將是前所未有的成就。


    “90納米製程工藝雖然不是頂尖,但它是我們追趕世界的一步!”許誌遠喃喃自語,眼神堅定。


    ……


    許誌遠在工業部的會議室裏,麵對著幾十位官員和技術專家,鄭重其事地將光刻機研發的提案擺在了桌上。


    他的語氣堅定,眼神中滿是對未來的渴望:“同誌們,光刻機的研發是我們的當務之急!它不僅是芯片製造的核心設備,更是未來工業化、現代化的基石。如果我們現在不開始研發,將永遠受製於人!”


    話音剛落,會議室陷入了一陣短暫的沉默,隨後爆發出低低的議論聲。


    許多官員和技術人員麵麵相覷,表情各異。有的滿臉疑惑,有的則眉頭緊鎖,顯然對許誌遠的提案感到難以理解。


    很快,一名穿著灰色中山裝的老官員站了起來,語氣裏帶著些許不滿:


    “許誌遠同誌,我能不能問一句——你說的這個‘光刻機’,到底是個什麽東西?


    你剛才提到的什麽芯片、集成電路,我聽著就像是天書。


    咱們現在這工業化剛起步,連機床、拖拉機都造不利索,你搞這個高科技的玩意兒,是不是有點太超前了?”


    另一個官員也跟著點頭附和:“老李說得沒錯!


    我們現在的重點是解決基本民生問題,能吃飽飯、有衣穿、能用上簡單的工業設備,這才是頭等大事。


    許誌遠同誌,你這個提案,說得好聽是挺先進,可咱們國家現在的生產力……你覺得有這個能力折騰這些東西嗎?”


    這話一出,會議室裏不少人都低聲議論起來,不少人眼神裏帶著疑惑和不信任。


    坐在角落裏的外貿部副部長張國輝推了推眼鏡,冷笑了一聲:


    “許誌遠同誌,我不是打擊你,但你這個提案確實有點離譜了。


    你知道光刻機研發需要多少資金嗎?需要多少資源?


    據我所知,國外那些資本主義國家為了搞芯片,每年投入的經費高達數億美元!


    我們現在外匯儲備都捉襟見肘,工業體係還在摸索階段,哪有這個餘力去搞這些‘高精尖’的東西?”


    他頓了頓,語氣變得更加尖刻:“更何況,我聽說過芯片這種東西。


    沒錯,它在一些高精密領域可能確實有用,但那是資本主義國家的玩意兒,咱們有必要跟著人家屁股後頭學嗎?


    咱們現在的拖拉機、機床技術都還差得遠,直接跨到這一步,太不切實際了吧!”


    這時候,一名輕工業部的年輕幹部也忍不住發言了:


    “我也同意張部長的看法。許誌遠同誌,我完全理解你想為國家做貢獻的心情,但你可能沒有意識到,咱們國家現在連最基礎的工業設備都不能完全自主生產。


    你知道嗎?就拿我們輕工業來說,一台縫紉機的零件都需要從國外進口。


    我們連這些最基本的東西都搞不好,怎麽可能去搞什麽光刻機?”


    旁邊的幾位專家也開始低聲討論起來,其中一位年紀較長的技術專家忍不住站了起來,語氣中帶著一絲無奈:


    “許誌遠同誌,你是搞技術的,我們都知道你厲害。


    但你剛才說的什麽‘芯片’、‘光刻機’,實在是太抽象了。


    你也知道,咱們現在的工業基礎還很薄弱,連高精度的機床都做不出來,別說芯片了。再說了,就算我們搞出來了,這東西能幹嘛?


    在戰場上能用?能造武器?能幫農民增加糧食產量嗎?”

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