在全球科技的浩瀚星空中，極紫外光刻技術宛如一顆最為璀璨卻又遙不可及的星辰，高懸於芯片製造領域的蒼穹之上。林宇在曆經諸多科技創新的波瀾壯闊之旅後，將目光堅定而熾熱地投向了這片充滿挑戰與希望的領域，決心在這一關鍵技術的攻堅之路上踏出堅實且具有深遠意義的步伐。
林宇輾轉來到了國內一家在光刻技術研究領域頗具聲望的科研機構。踏入那扇略顯沉重卻又承載著無數科研夢想的大門，一股濃厚而凝重的科研氛圍撲麵而來，仿佛空氣中都彌漫著智慧的粒子與奮鬥的氣息。在一間寬敞明亮的會議室裏，陽光透過巨大的落地窗傾灑而下，照亮了圍坐在會議桌旁的一張張充滿期待與決心的麵龐。國內光刻技術領域的權威專家李教授早已等候在此，他那深邃的眼神中透露出多年科研生涯所積澱的睿智與堅毅，滿頭的銀發在陽光的映照下閃爍著智慧的光芒，宛如一座指引方向的燈塔。
“林先生，您的到來為我們的極紫外光刻研究注入了新的活力與希望。”李教授微微起身，伸出手熱情地與林宇相握，聲音沉穩而有力，“這極紫外光刻曝光光學係統，無疑是一座橫亙在我們麵前的巍峨高峰，每攀登一步都需付出巨大的努力與艱辛。”
林宇迴握住李教授的手，目光堅定地迴應道：“李教授，我深知此項任務艱巨無比，但正是因為其艱難，才更凸顯出其意義重大。我們必須攜手共進，攻克這一難關，為我國的芯片產業開辟出一條獨立自主的光明大道。”
在李教授的引領下，林宇緩緩步入了科研機構的核心實驗室區域。這裏，一台台精密而複雜的儀器設備整齊地排列著，仿佛是一群沉默而忠誠的衛士，守護著科研人員的探索夢想。它們的金屬外殼在燈光的照耀下閃爍著冷硬的光澤，各種指示燈閃爍不定，仿佛在訴說著科研工作的緊張與忙碌。在實驗室的一角，擺放著一台正在研發中的極紫外光刻曝光光學係統的實驗樣機，它的結構複雜而精妙，猶如一件精心雕琢的藝術品，又似一部蘊含著無限奧秘的科技寶典。
“林先生，您瞧，這便是我們目前的研究成果。”李教授輕輕走到樣機旁，眼神中滿是複雜的情感，既有對現有成果的一絲欣慰，又有對未來挑戰的深深憂慮，“我們在光學元件的製造精度方麵已經取得了一定的突破，通過采用超精密加工技術和先進的檢測手段，能夠將鏡片的表麵粗糙度控製在納米級別的極小範圍內，這為後續的光路設計奠定了相對堅實的基礎。然而，在光源與光學係統的耦合效率這一關鍵環節上，我們仍深陷困境，仿佛陷入了一片迷霧籠罩的沼澤，難以找到前行的方向。目前的耦合效率僅能達到一個較低的水平，遠遠無法滿足實際生產的嚴苛需求，這導致光源所產生的極紫外光在傳輸和聚焦過程中存在著嚴重的能量損耗，就像一條奔騰的河流在中途出現了大量的滲漏，最終能夠匯聚到芯片光刻區域的能量變得極為有限。”
林宇俯下身，仔細地端詳著樣機的每一個細節，眼神中透露出專注與沉思，眉頭微微皺起，似乎在腦海中迅速地梳理著各種可能的解決方案。“李教授，我在想，我們是否可以借鑒一些在其他領域成功應用的能量傳輸優化技術呢？比如在光通信領域，他們在提高光信號傳輸效率方麵有著豐富的經驗和獨特的技術手段，或許能為我們提供一些新的思路和啟發。”
李教授推了推眼鏡，眼中閃過一絲思索的光芒，緩緩說道：“您的建議確實具有一定的啟發性，但極紫外光的波長極短，其物理特性與光通信領域所使用的光信號存在著顯著的差異，這就如同在不同的賽道上奔跑，不能簡單地直接套用。我們需要深入研究極紫外光在複雜光學介質中的傳播規律，探索如何通過特殊的材料和結構設計來最大限度地減少能量的散射和吸收。這就像是要為極紫外光量身定製一條專屬的高速公路，確保它能夠在這條道路上暢通無阻地行駛，高效地抵達目的地。”
在隨後的日子裏，林宇迅速地融入了這個充滿挑戰與激情的科研團隊，全身心地投入到了緊張而艱苦的研究工作之中。他與光學工程師們一同整日埋首於複雜的光路設計圖紙之間，圖紙上密密麻麻的線條和數據仿佛是一座神秘的迷宮，他們在其中不斷地探索、嚐試和修正。每一條線條都代表著一束光線的可能路徑，每一個數據都關乎著光學係統的性能優劣，他們如同執著的探險家，在這片知識的迷宮中尋找著最優的設計方案。
“我們需要重新審視每一個光學元件的布局和曲率設計。”林宇目光堅定地看著圖紙，手中的鉛筆在圖紙上輕輕比劃著，語氣中透露出不容置疑的決心，“通過精確的光線追跡模擬，找到能夠實現光線最優化聚焦和傳輸的配置。就像搭建一座精密的橋梁，每一個橋墩的位置和高度都必須恰到好處，才能確保橋梁的穩固和暢通。”
光學工程師小王點頭表示讚同，他的眼神中充滿了對工作的專注和熱情：“林先生，我們已經進行了多次模擬計算，但每次結果都不盡如人意。不過，我們不會放棄，就像攀登高峰的登山者，每一次跌倒都是為了下一次更有力的攀登。我們會繼續調整參數，不斷嚐試新的組合，直到找到那個最佳的答案。”
與此同時，材料科學家們也在緊鑼密鼓地開展著針對極紫外光學材料的研發工作。在實驗室裏，各種高溫爐、反應釜等設備不停地運轉著，發出嗡嗡的轟鳴聲，仿佛是一場科技交響樂的演奏現場。他們在探索著新型的高透過率、低吸收的材料，這些材料如同是為極紫外光打造的“魔法鎧甲”，能夠讓極紫外光在其中自由穿梭而不損失過多的能量。
“我們目前合成的這種材料在初步測試中展現出了一定的潛力。”材料科學家張博士滿懷期待地看著手中的樣本，眼中閃爍著興奮的光芒，“其在極紫外波段的透過率相比以往的材料有了明顯的提升，但在穩定性方麵還存在一些問題，就像一艘剛剛下水的新船，還需要經過不斷的調試和完善才能遠航。我們需要進一步優化合成工藝，調整材料的成分和結構，使其能夠在極端的光刻環境下保持穩定的性能。”
林宇來到材料實驗室，關切地詢問道：“張博士，在提高材料穩定性方麵，我們是否考慮過引入一些特殊的添加劑或者采用新的晶體生長技術呢？就像在烹飪美食時，添加一些特殊的調料或者改變烹飪方法，可能會帶來意想不到的效果。”
張博士沉思片刻，迴答道：“林先生，我們確實在嚐試這些方法。我們正在研究一些稀土元素作為添加劑的可能性，這些元素可能會改變材料的晶格結構，從而增強其穩定性。同時，我們也在探索分子束外延等先進的晶體生長技術，希望能夠獲得更加純淨、均勻的晶體材料，為極紫外光刻提供更優質的‘基石’。”
在研發過程中，一個又一個嚴峻的問題接踵而至，如同洶湧的波濤不斷衝擊著科研的航船。在一次重要的實驗中，當極紫外光源開啟後，光學係統突然出現了嚴重的熱變形問題。光線在通過變形的光學元件時發生了扭曲和散射，就像一條原本筆直的道路突然變得崎嶇不平，導致光刻的精度大幅下降，實驗結果遠遠偏離了預期的目標。
“這是怎麽迴事？立即停止實驗，檢查所有設備和數據！”林宇迅速而果斷地發出指令，眼神中透露出焦急與緊張。
經過一番仔細而深入的排查，科研團隊發現是由於光源產生的高熱量在短時間內無法有效散發出去，使得光學元件的溫度急劇上升，進而引發了熱變形。這就像是一台高速運轉的發動機因為散熱不良而出現故障，導致整個係統陷入癱瘓。
“我們必須設計一套高效的散熱係統，確保光學元件在工作過程中能夠始終保持穩定的溫度。”李教授神情嚴肅地說道，他的額頭布滿了細密的汗珠，那是緊張與思考的痕跡，“這就如同給一個在高溫環境下工作的運動員配備一套精良的降溫設備，讓他能夠始終保持最佳的競技狀態。”
於是，熱管理專家們緊急加入了研發團隊，他們如同救火隊員一般迅速投入到工作中。他們運用先進的熱模擬軟件，對光學係統的熱分布進行了詳細而精確的分析，就像繪製一幅精密的地圖，找出了熱量集中的關鍵區域和薄弱環節。然後，根據分析結果，設計出了一套基於微通道冷卻技術的散熱方案。這套方案就像是在光學元件內部構建了一個細密而高效的“血管網絡”，通過冷卻液在微通道中的循環流動，將熱量迅速帶走，從而有效地維持了光學元件的溫度穩定。
“這個散熱方案在理論上應該能夠滿足需求，但在實際製造和安裝過程中，我們還需要克服許多技術難題。”熱管理專家趙工看著設計圖紙，微微皺起眉頭說道，“比如微通道的加工精度和密封性要求極高，任何微小的瑕疵都可能導致冷卻液泄漏或者散熱效果不佳，就像一個精密的手表，哪怕一個零件出現問題，都可能影響整個手表的運行。我們需要與精密製造專家緊密合作，確保每一個環節都萬無一失。”
在解決散熱問題的同時，科研團隊在提高光源功率和穩定性方麵也遭遇了巨大的挑戰。現有的極紫外光源技術在功率輸出上存在明顯的瓶頸，就像一個供水不足的水龍頭，無法提供足夠的能量來滿足光刻的需求。而且，光源的穩定性較差，其輸出的極紫外光強度會出現頻繁的波動，這就像一陣忽大忽小的風，使得光刻過程難以精確控製，嚴重影響了光刻的質量和效率。
“我們需要探索新的光源激發機製和等離子體控製技術。”光源技術專家孫博士堅定地說道，他的眼神中透露出對技術突破的渴望，“目前的技術已經無法滿足我們的需求，我們必須大膽創新，尋找新的突破點。就像在黑暗中摸索前行的旅人，需要找到一盞更亮的燈來照亮道路。”
林宇與孫博士一同深入研究了國內外相關領域的最新研究成果，查閱了大量的學術文獻，與國際上的專家學者進行了廣泛而深入的交流與探討。在這個過程中，他們了解到一種基於激光驅動的高功率極紫外光源技術在國外已經取得了一定的進展，但相關技術被嚴格保密，如同被鎖在一個堅固的保險櫃中，難以獲取。
“我們不能依賴國外的技術，必須依靠自己的力量研發出具有自主知識產權的高功率穩定光源。”林宇眼神堅定地說道，他的拳頭不自覺地握緊，仿佛在給自己加油打氣，“雖然前方的道路充滿荊棘，但我們有信心開辟出一條屬於自己的道路。”
經過無數個日夜的艱苦努力和反複試驗，科研團隊終於在光源技術方麵取得了一項重要的突破。他們成功地開發出了一種新型的激光等離子體極紫外光源，其功率相比以往提高了數倍，穩定性也得到了顯著的提升。這就像是在黑暗中點亮了一盞明燈，為整個極紫外光刻項目帶來了新的希望。
“太棒了！我們終於成功了！”孫博士激動地歡唿起來，他的臉上洋溢著成功的喜悅，眼中閃爍著激動的淚花，“這是我們團隊共同努力的結果，也是我國在極紫外光刻光源技術領域的一個重要裏程碑。”
林宇也難掩心中的興奮與激動，他與孫博士緊緊地擁抱在一起，感慨地說：“這隻是我們邁向成功的關鍵一步，但還有很長的路要走。我們要繼續努力，不斷優化和完善這項技術，讓它能夠真正應用於芯片製造領域。”
隨著光源技術的突破，科研團隊在光學係統的整體性能優化方麵也取得了一係列重要的進展。通過對光路設計的進一步優化和對光學元件的精細調整，極紫外光刻曝光光學係統的分辨率得到了大幅提升，已經能夠達到國際先進水平的邊緣。這就像是一把原本略顯鈍拙的手術刀，經過精心打磨後變得鋒利無比，能夠在芯片製造的微觀世界中進行更加精細的“雕刻”。
內部的技術研討會上，林宇充滿信心地向團隊成員展示了最新的研究成果：“經過大家的不懈努力，我們的極紫外光刻曝光光學係統已經取得了顯著的成績，就像我們已經搭建好了一座通往成功的橋梁，接下來需要做的就是讓車輛在這座橋上安全、快速地行駛。”
林宇輾轉來到了國內一家在光刻技術研究領域頗具聲望的科研機構。踏入那扇略顯沉重卻又承載著無數科研夢想的大門，一股濃厚而凝重的科研氛圍撲麵而來，仿佛空氣中都彌漫著智慧的粒子與奮鬥的氣息。在一間寬敞明亮的會議室裏，陽光透過巨大的落地窗傾灑而下，照亮了圍坐在會議桌旁的一張張充滿期待與決心的麵龐。國內光刻技術領域的權威專家李教授早已等候在此，他那深邃的眼神中透露出多年科研生涯所積澱的睿智與堅毅，滿頭的銀發在陽光的映照下閃爍著智慧的光芒，宛如一座指引方向的燈塔。
“林先生，您的到來為我們的極紫外光刻研究注入了新的活力與希望。”李教授微微起身，伸出手熱情地與林宇相握，聲音沉穩而有力，“這極紫外光刻曝光光學係統，無疑是一座橫亙在我們麵前的巍峨高峰，每攀登一步都需付出巨大的努力與艱辛。”
林宇迴握住李教授的手，目光堅定地迴應道：“李教授，我深知此項任務艱巨無比，但正是因為其艱難，才更凸顯出其意義重大。我們必須攜手共進，攻克這一難關，為我國的芯片產業開辟出一條獨立自主的光明大道。”
在李教授的引領下，林宇緩緩步入了科研機構的核心實驗室區域。這裏，一台台精密而複雜的儀器設備整齊地排列著，仿佛是一群沉默而忠誠的衛士，守護著科研人員的探索夢想。它們的金屬外殼在燈光的照耀下閃爍著冷硬的光澤，各種指示燈閃爍不定，仿佛在訴說著科研工作的緊張與忙碌。在實驗室的一角，擺放著一台正在研發中的極紫外光刻曝光光學係統的實驗樣機，它的結構複雜而精妙，猶如一件精心雕琢的藝術品，又似一部蘊含著無限奧秘的科技寶典。
“林先生，您瞧，這便是我們目前的研究成果。”李教授輕輕走到樣機旁，眼神中滿是複雜的情感，既有對現有成果的一絲欣慰，又有對未來挑戰的深深憂慮，“我們在光學元件的製造精度方麵已經取得了一定的突破，通過采用超精密加工技術和先進的檢測手段，能夠將鏡片的表麵粗糙度控製在納米級別的極小範圍內，這為後續的光路設計奠定了相對堅實的基礎。然而，在光源與光學係統的耦合效率這一關鍵環節上，我們仍深陷困境，仿佛陷入了一片迷霧籠罩的沼澤，難以找到前行的方向。目前的耦合效率僅能達到一個較低的水平，遠遠無法滿足實際生產的嚴苛需求，這導致光源所產生的極紫外光在傳輸和聚焦過程中存在著嚴重的能量損耗，就像一條奔騰的河流在中途出現了大量的滲漏，最終能夠匯聚到芯片光刻區域的能量變得極為有限。”
林宇俯下身，仔細地端詳著樣機的每一個細節，眼神中透露出專注與沉思，眉頭微微皺起，似乎在腦海中迅速地梳理著各種可能的解決方案。“李教授，我在想，我們是否可以借鑒一些在其他領域成功應用的能量傳輸優化技術呢？比如在光通信領域，他們在提高光信號傳輸效率方麵有著豐富的經驗和獨特的技術手段，或許能為我們提供一些新的思路和啟發。”
李教授推了推眼鏡，眼中閃過一絲思索的光芒，緩緩說道：“您的建議確實具有一定的啟發性，但極紫外光的波長極短，其物理特性與光通信領域所使用的光信號存在著顯著的差異，這就如同在不同的賽道上奔跑，不能簡單地直接套用。我們需要深入研究極紫外光在複雜光學介質中的傳播規律，探索如何通過特殊的材料和結構設計來最大限度地減少能量的散射和吸收。這就像是要為極紫外光量身定製一條專屬的高速公路，確保它能夠在這條道路上暢通無阻地行駛，高效地抵達目的地。”
在隨後的日子裏，林宇迅速地融入了這個充滿挑戰與激情的科研團隊，全身心地投入到了緊張而艱苦的研究工作之中。他與光學工程師們一同整日埋首於複雜的光路設計圖紙之間，圖紙上密密麻麻的線條和數據仿佛是一座神秘的迷宮，他們在其中不斷地探索、嚐試和修正。每一條線條都代表著一束光線的可能路徑，每一個數據都關乎著光學係統的性能優劣，他們如同執著的探險家，在這片知識的迷宮中尋找著最優的設計方案。
“我們需要重新審視每一個光學元件的布局和曲率設計。”林宇目光堅定地看著圖紙，手中的鉛筆在圖紙上輕輕比劃著，語氣中透露出不容置疑的決心，“通過精確的光線追跡模擬，找到能夠實現光線最優化聚焦和傳輸的配置。就像搭建一座精密的橋梁，每一個橋墩的位置和高度都必須恰到好處，才能確保橋梁的穩固和暢通。”
光學工程師小王點頭表示讚同，他的眼神中充滿了對工作的專注和熱情：“林先生，我們已經進行了多次模擬計算，但每次結果都不盡如人意。不過，我們不會放棄，就像攀登高峰的登山者，每一次跌倒都是為了下一次更有力的攀登。我們會繼續調整參數，不斷嚐試新的組合，直到找到那個最佳的答案。”
與此同時，材料科學家們也在緊鑼密鼓地開展著針對極紫外光學材料的研發工作。在實驗室裏，各種高溫爐、反應釜等設備不停地運轉著，發出嗡嗡的轟鳴聲，仿佛是一場科技交響樂的演奏現場。他們在探索著新型的高透過率、低吸收的材料，這些材料如同是為極紫外光打造的“魔法鎧甲”，能夠讓極紫外光在其中自由穿梭而不損失過多的能量。
“我們目前合成的這種材料在初步測試中展現出了一定的潛力。”材料科學家張博士滿懷期待地看著手中的樣本，眼中閃爍著興奮的光芒，“其在極紫外波段的透過率相比以往的材料有了明顯的提升，但在穩定性方麵還存在一些問題，就像一艘剛剛下水的新船，還需要經過不斷的調試和完善才能遠航。我們需要進一步優化合成工藝，調整材料的成分和結構，使其能夠在極端的光刻環境下保持穩定的性能。”
林宇來到材料實驗室，關切地詢問道：“張博士，在提高材料穩定性方麵，我們是否考慮過引入一些特殊的添加劑或者采用新的晶體生長技術呢？就像在烹飪美食時，添加一些特殊的調料或者改變烹飪方法，可能會帶來意想不到的效果。”
張博士沉思片刻，迴答道：“林先生，我們確實在嚐試這些方法。我們正在研究一些稀土元素作為添加劑的可能性，這些元素可能會改變材料的晶格結構，從而增強其穩定性。同時，我們也在探索分子束外延等先進的晶體生長技術，希望能夠獲得更加純淨、均勻的晶體材料，為極紫外光刻提供更優質的‘基石’。”
在研發過程中，一個又一個嚴峻的問題接踵而至，如同洶湧的波濤不斷衝擊著科研的航船。在一次重要的實驗中，當極紫外光源開啟後，光學係統突然出現了嚴重的熱變形問題。光線在通過變形的光學元件時發生了扭曲和散射，就像一條原本筆直的道路突然變得崎嶇不平，導致光刻的精度大幅下降，實驗結果遠遠偏離了預期的目標。
“這是怎麽迴事？立即停止實驗，檢查所有設備和數據！”林宇迅速而果斷地發出指令，眼神中透露出焦急與緊張。
經過一番仔細而深入的排查，科研團隊發現是由於光源產生的高熱量在短時間內無法有效散發出去，使得光學元件的溫度急劇上升，進而引發了熱變形。這就像是一台高速運轉的發動機因為散熱不良而出現故障，導致整個係統陷入癱瘓。
“我們必須設計一套高效的散熱係統，確保光學元件在工作過程中能夠始終保持穩定的溫度。”李教授神情嚴肅地說道，他的額頭布滿了細密的汗珠，那是緊張與思考的痕跡，“這就如同給一個在高溫環境下工作的運動員配備一套精良的降溫設備，讓他能夠始終保持最佳的競技狀態。”
於是，熱管理專家們緊急加入了研發團隊，他們如同救火隊員一般迅速投入到工作中。他們運用先進的熱模擬軟件，對光學係統的熱分布進行了詳細而精確的分析，就像繪製一幅精密的地圖，找出了熱量集中的關鍵區域和薄弱環節。然後，根據分析結果，設計出了一套基於微通道冷卻技術的散熱方案。這套方案就像是在光學元件內部構建了一個細密而高效的“血管網絡”，通過冷卻液在微通道中的循環流動，將熱量迅速帶走，從而有效地維持了光學元件的溫度穩定。
“這個散熱方案在理論上應該能夠滿足需求，但在實際製造和安裝過程中，我們還需要克服許多技術難題。”熱管理專家趙工看著設計圖紙，微微皺起眉頭說道，“比如微通道的加工精度和密封性要求極高，任何微小的瑕疵都可能導致冷卻液泄漏或者散熱效果不佳，就像一個精密的手表，哪怕一個零件出現問題，都可能影響整個手表的運行。我們需要與精密製造專家緊密合作，確保每一個環節都萬無一失。”
在解決散熱問題的同時，科研團隊在提高光源功率和穩定性方麵也遭遇了巨大的挑戰。現有的極紫外光源技術在功率輸出上存在明顯的瓶頸，就像一個供水不足的水龍頭，無法提供足夠的能量來滿足光刻的需求。而且，光源的穩定性較差，其輸出的極紫外光強度會出現頻繁的波動，這就像一陣忽大忽小的風，使得光刻過程難以精確控製，嚴重影響了光刻的質量和效率。
“我們需要探索新的光源激發機製和等離子體控製技術。”光源技術專家孫博士堅定地說道，他的眼神中透露出對技術突破的渴望，“目前的技術已經無法滿足我們的需求，我們必須大膽創新，尋找新的突破點。就像在黑暗中摸索前行的旅人，需要找到一盞更亮的燈來照亮道路。”
林宇與孫博士一同深入研究了國內外相關領域的最新研究成果，查閱了大量的學術文獻，與國際上的專家學者進行了廣泛而深入的交流與探討。在這個過程中，他們了解到一種基於激光驅動的高功率極紫外光源技術在國外已經取得了一定的進展，但相關技術被嚴格保密，如同被鎖在一個堅固的保險櫃中，難以獲取。
“我們不能依賴國外的技術，必須依靠自己的力量研發出具有自主知識產權的高功率穩定光源。”林宇眼神堅定地說道，他的拳頭不自覺地握緊，仿佛在給自己加油打氣，“雖然前方的道路充滿荊棘，但我們有信心開辟出一條屬於自己的道路。”
經過無數個日夜的艱苦努力和反複試驗，科研團隊終於在光源技術方麵取得了一項重要的突破。他們成功地開發出了一種新型的激光等離子體極紫外光源，其功率相比以往提高了數倍，穩定性也得到了顯著的提升。這就像是在黑暗中點亮了一盞明燈，為整個極紫外光刻項目帶來了新的希望。
“太棒了！我們終於成功了！”孫博士激動地歡唿起來，他的臉上洋溢著成功的喜悅，眼中閃爍著激動的淚花，“這是我們團隊共同努力的結果，也是我國在極紫外光刻光源技術領域的一個重要裏程碑。”
林宇也難掩心中的興奮與激動，他與孫博士緊緊地擁抱在一起，感慨地說：“這隻是我們邁向成功的關鍵一步，但還有很長的路要走。我們要繼續努力，不斷優化和完善這項技術，讓它能夠真正應用於芯片製造領域。”
隨著光源技術的突破，科研團隊在光學係統的整體性能優化方麵也取得了一係列重要的進展。通過對光路設計的進一步優化和對光學元件的精細調整，極紫外光刻曝光光學係統的分辨率得到了大幅提升，已經能夠達到國際先進水平的邊緣。這就像是一把原本略顯鈍拙的手術刀，經過精心打磨後變得鋒利無比，能夠在芯片製造的微觀世界中進行更加精細的“雕刻”。
內部的技術研討會上，林宇充滿信心地向團隊成員展示了最新的研究成果：“經過大家的不懈努力，我們的極紫外光刻曝光光學係統已經取得了顯著的成績，就像我們已經搭建好了一座通往成功的橋梁，接下來需要做的就是讓車輛在這座橋上安全、快速地行駛。”