7月1日，廬州九州半導體芯片生產基地，此時已經有眾多科研工作者已經嚴陣以待，等待著某個時間的到來，今天是基地內重要的日子。
而此種大事，身為九州集團的大老板的張林也是早早的帶著秘書趙莉影來到了此處。
上午九點，在隔離罩後麵的張林一聲“開機”令下，經過多輪檢測的星火一號光源正式開機測試，沒有轟轟烈烈，隻有房間內的安靜伴隨著眾人的緊張與忐忑。
安全防護的房間內，眾多的科研實驗人員在星火一號的光源啟動之後，開始了緊張的忙碌。
光源能啟動隻是芯片基地這次測試最簡單的第一步，最重要的是看第二步，光源能否產生穩定合適波長的光線，這才是今天最重要的一步，如果這個星火一號的光源沒有辦法產生穩定合適波長的光線，那它就是失敗的。
失敗了不可怕，如果能通過修改設計來達成目的也是可以的，怕的是這條線路是行不通的，這條捷徑是錯誤的，到時公司在這裏投入的上百億美元都將會打水漂，那個損失是任何一個公司都無法承受的。
雖然張林的錢和大風刮來的差不了多少，但是這明麵上的錢還是需要珍惜的。
此時的張林和在場的科研人員也是緊張萬分。
好在這個基地根據張林他給的技術和設想沒有浪費。
在經過一段緊張的調試之後，配套先期建設好的兩條芯片生產線也是順利的接收到了光源產生的穩定合適波長的光。
“張董，我們成功了......”
這是包括喻子真、程星海、張如京、蔣尚意等九州半導體眾多高層此時內心的真實寫照。
而早晨趕過來的大米的雷總看著眼前歡唿的九州集團的科研人員，則是陷入沉思，思考著。
在歡唿過後，眾多科研人員繼續投入實驗，張林則是帶著張如京和蔣尚意陪著徽省的高官們視察這個芯片生產基地。
今天這次芯片基地的光源開機實驗，不僅廬州的書記和市長來了，徽省的書記和省長也來了，這麽一個大大的政績露臉的機會，還是在7月1日這個時間，要是不來支持一下，就太說不過去。
等下次芯片基地開機生產芯片的時候可就輪不到他們露臉了，到時最起碼也得是打巔峰賽的7人中最少也會來一個人，以示鼓勵，甚至大長老都有可能過來。
能自主生產當前國際上最先進的芯片，這個代表的是什麽意義，作為一省的最高長官，沒有一個人是糊塗的，就看他願不願承認罷了。
所以這次不抓緊更待何時。
“張董，這個成就了不起，了不起的成就啊。要是國內的企業都像九州集團這樣，致力於科技的研發，國內何愁發展不起來。
可惜國內像九州集團這樣的公司還是太少了，太多的公司習慣了過安穩日子。”徽省的書記讚賞道，“張董，不知道半導體基地的下一步芯片試生產什麽時候舉行？能不能趕在國慶節之前試生產出芯片？”
“趕在國慶節前生產出芯片”，張林聽到徽省書記的話，瞬間便反應過來，知道徽省書記話中的意思，無非是為了國慶獻禮。
九州半導體的芯片生產基地坐落在廬州，是徽省管轄，於情於理為徽省在國慶節露一次臉爭些麵子也是分內之事，“縣官不如現管”，芯片半導體基地的發展離不開徽省的支持，合則兩利，更何況也是順道的事情。
“星火一號芯片試生產現在定了兩個時間，一個是下個月的25日，一個是9月20日，至於是選擇哪個時間，就要看光源和光刻機的調試什麽時候可以結束了。
畢竟這是九州半導體第一次生產芯片，需要慎重點，不能打了科研工作人員的信心。”張林解釋道，同時這兩個時間也是他和張如京、蔣尚意等人商議後共同定下的。
現在芯片生產基地已經可以看到勝利的曙光了，九州半導體現在已經不是求快，而是求穩，穩中求勝。
走了一會張林問道：“張書記，不知道給芯片生產基地配套的水、電、特氣化學品、超純水等供應能不能按時供應？
特氣化學品、超純水等還能從別的地方采購，但是水電可沒有辦法從別的地方采購，隻能靠徽省為我們解決。
雖然我們這個芯片生產基地和傳統的芯片光刻機不同，能量利用效率更高，但是再怎麽改也改不了它是一個耗電的大戶，光源產生的光全是靠電力驅動的，而且芯片生產還需要超純水、稀有氣體等，如果沒有充足的能源和資源供應，到時芯片基地建好，也隻淪為擺設。”
星火一號的光源直徑是500米，光源周圍有兩座有已經建好的無塵車間，但更多的還是正在建設的各種國際標準iso 4級或iso 5級頂級的無塵車間正在建設，一個光源有20條生產線，建成之後，這裏將會是徽省的一個耗電大戶，真正的電老虎。
同時這個芯片生產基地采用的是和asml於2010年也就是今年推出的euv光刻機nxe：3100同樣的路子。
asml的euv 光刻機機台得“光線”經過十幾麵反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概隻能剩下不到 2% 的光線，能量浪費嚴重，一台光刻機一天使用下來，最少也得需要上萬度的電能。
然而，一條芯片生產線上可不僅僅隻有一台光刻機這麽簡單。
實際上，一條芯片生產線它是由大約十餘台不同型號的光刻機共同構成的，此外還有大量的高溫\/氧化\/退火設備、化學氣相沉積（cvd）設備、塗膠\/去膠設備、刻蝕設備、離子注入設備、物理氣相沉積設備、研磨拋光設備、清洗設備、檢測設備等等。
如此多的設備，其耗電量可想而知。
盡管九州半導體的這個芯片生產基地摒棄了傳統的“一台光刻機對應一個光源”的設計模式，並采用了更為節能的穩態微聚束光源技術，大大降低了能源消耗。
根據研發團隊的介紹，這種新技術能夠將光線利用率提升至 50%以上，如果未來能實現 20 條生產線全麵投產，光線的利用率甚至有望超過 90%。
不過，這隻是光刻機一項帶來的改進，其他設備所需的電能並沒有因此而減少。
每年耗費百億度電是最少的，能直接把廬州的全年累計用電量提升一個大大的台階。如果再加上給芯片半導體基地建設配套的那些工廠，簡直是無法想象.......
而此種大事，身為九州集團的大老板的張林也是早早的帶著秘書趙莉影來到了此處。
上午九點，在隔離罩後麵的張林一聲“開機”令下，經過多輪檢測的星火一號光源正式開機測試，沒有轟轟烈烈，隻有房間內的安靜伴隨著眾人的緊張與忐忑。
安全防護的房間內，眾多的科研實驗人員在星火一號的光源啟動之後，開始了緊張的忙碌。
光源能啟動隻是芯片基地這次測試最簡單的第一步，最重要的是看第二步，光源能否產生穩定合適波長的光線，這才是今天最重要的一步，如果這個星火一號的光源沒有辦法產生穩定合適波長的光線，那它就是失敗的。
失敗了不可怕，如果能通過修改設計來達成目的也是可以的，怕的是這條線路是行不通的，這條捷徑是錯誤的，到時公司在這裏投入的上百億美元都將會打水漂，那個損失是任何一個公司都無法承受的。
雖然張林的錢和大風刮來的差不了多少，但是這明麵上的錢還是需要珍惜的。
此時的張林和在場的科研人員也是緊張萬分。
好在這個基地根據張林他給的技術和設想沒有浪費。
在經過一段緊張的調試之後，配套先期建設好的兩條芯片生產線也是順利的接收到了光源產生的穩定合適波長的光。
“張董，我們成功了......”
這是包括喻子真、程星海、張如京、蔣尚意等九州半導體眾多高層此時內心的真實寫照。
而早晨趕過來的大米的雷總看著眼前歡唿的九州集團的科研人員，則是陷入沉思，思考著。
在歡唿過後，眾多科研人員繼續投入實驗，張林則是帶著張如京和蔣尚意陪著徽省的高官們視察這個芯片生產基地。
今天這次芯片基地的光源開機實驗，不僅廬州的書記和市長來了，徽省的書記和省長也來了，這麽一個大大的政績露臉的機會，還是在7月1日這個時間，要是不來支持一下，就太說不過去。
等下次芯片基地開機生產芯片的時候可就輪不到他們露臉了，到時最起碼也得是打巔峰賽的7人中最少也會來一個人，以示鼓勵，甚至大長老都有可能過來。
能自主生產當前國際上最先進的芯片，這個代表的是什麽意義，作為一省的最高長官，沒有一個人是糊塗的，就看他願不願承認罷了。
所以這次不抓緊更待何時。
“張董，這個成就了不起，了不起的成就啊。要是國內的企業都像九州集團這樣，致力於科技的研發，國內何愁發展不起來。
可惜國內像九州集團這樣的公司還是太少了，太多的公司習慣了過安穩日子。”徽省的書記讚賞道，“張董，不知道半導體基地的下一步芯片試生產什麽時候舉行？能不能趕在國慶節之前試生產出芯片？”
“趕在國慶節前生產出芯片”，張林聽到徽省書記的話，瞬間便反應過來，知道徽省書記話中的意思，無非是為了國慶獻禮。
九州半導體的芯片生產基地坐落在廬州，是徽省管轄，於情於理為徽省在國慶節露一次臉爭些麵子也是分內之事，“縣官不如現管”，芯片半導體基地的發展離不開徽省的支持，合則兩利，更何況也是順道的事情。
“星火一號芯片試生產現在定了兩個時間，一個是下個月的25日，一個是9月20日，至於是選擇哪個時間，就要看光源和光刻機的調試什麽時候可以結束了。
畢竟這是九州半導體第一次生產芯片，需要慎重點，不能打了科研工作人員的信心。”張林解釋道，同時這兩個時間也是他和張如京、蔣尚意等人商議後共同定下的。
現在芯片生產基地已經可以看到勝利的曙光了，九州半導體現在已經不是求快，而是求穩，穩中求勝。
走了一會張林問道：“張書記，不知道給芯片生產基地配套的水、電、特氣化學品、超純水等供應能不能按時供應？
特氣化學品、超純水等還能從別的地方采購，但是水電可沒有辦法從別的地方采購，隻能靠徽省為我們解決。
雖然我們這個芯片生產基地和傳統的芯片光刻機不同，能量利用效率更高，但是再怎麽改也改不了它是一個耗電的大戶，光源產生的光全是靠電力驅動的，而且芯片生產還需要超純水、稀有氣體等，如果沒有充足的能源和資源供應，到時芯片基地建好，也隻淪為擺設。”
星火一號的光源直徑是500米，光源周圍有兩座有已經建好的無塵車間，但更多的還是正在建設的各種國際標準iso 4級或iso 5級頂級的無塵車間正在建設，一個光源有20條生產線，建成之後，這裏將會是徽省的一個耗電大戶，真正的電老虎。
同時這個芯片生產基地采用的是和asml於2010年也就是今年推出的euv光刻機nxe：3100同樣的路子。
asml的euv 光刻機機台得“光線”經過十幾麵反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概隻能剩下不到 2% 的光線，能量浪費嚴重，一台光刻機一天使用下來，最少也得需要上萬度的電能。
然而，一條芯片生產線上可不僅僅隻有一台光刻機這麽簡單。
實際上，一條芯片生產線它是由大約十餘台不同型號的光刻機共同構成的，此外還有大量的高溫\/氧化\/退火設備、化學氣相沉積（cvd）設備、塗膠\/去膠設備、刻蝕設備、離子注入設備、物理氣相沉積設備、研磨拋光設備、清洗設備、檢測設備等等。
如此多的設備，其耗電量可想而知。
盡管九州半導體的這個芯片生產基地摒棄了傳統的“一台光刻機對應一個光源”的設計模式，並采用了更為節能的穩態微聚束光源技術，大大降低了能源消耗。
根據研發團隊的介紹，這種新技術能夠將光線利用率提升至 50%以上，如果未來能實現 20 條生產線全麵投產，光線的利用率甚至有望超過 90%。
不過，這隻是光刻機一項帶來的改進，其他設備所需的電能並沒有因此而減少。
每年耗費百億度電是最少的，能直接把廬州的全年累計用電量提升一個大大的台階。如果再加上給芯片半導體基地建設配套的那些工廠，簡直是無法想象.......