“穩態微聚束光源確實能用於光刻,不過我們如今隻是實驗驗證了這一概念,距離具體的應用階段恐怕還需要大量的實驗研究。”


    教授辦公室內,趙翔聽完徐源的話,雖心中非常意動卻也不得不擺出事實。


    作為自己提出並成功驗證的概念,他當然希望能為國家解決眼下困境。


    畢竟目前國內半導體行業是個什麽情況,隻要接觸網絡都會知道。


    確實急需解決高端芯片製造問題。


    海外阿麥斯公司,使用的方法是用高能電子束轟擊特定成分的氣體,從而對晶圓片進行蝕刻,但國內現在的技術還做不出這種東西。但借助穩態微聚束,可以直接把電子束從零速度開始加速。


    直到加速到很高很高。


    那麽所有速率的電子束全都有了,要用哪個速率的就放到特定的位置就行。


    原本同步輻射在加速器領域,是個相對來說比較討厭的事情。


    因為會白白消耗加速器的能量,拖累粒子的進一步加速。


    但若用於光刻的話,則剛好能利用這個效應來製造特定波長的光。


    可以說能稱得上腦洞大開。


    如果這座光刻工廠真能建成,那麽其效率將遠不是普通光刻機能比的。


    絲毫不誇張的講,可以同時製造不同規格的芯片。


    就好比有人要六十度的水,但精準燒不出來,那就放一條很長的管道。


    讓一百度的水流過管道逐漸冷卻,要多少度的水在相應的位置直接接就行。


    不過理念歸理念,如何讓這些設想變成現實,還需要深入的研究。


    以及大量實驗。


    徐源如何不知道趙翔的憂慮,畢竟現在對穩態微聚束的研究確實不成熟。


    若是晚上幾年再啟動光刻工廠項目,或許能更有底氣自信些,不至於像現在這樣,顯得有些畏手畏腳。


    奈何有時候計劃趕不上變化。


    形勢不等人。


    眼下國內對5g領域的研究,因高端芯片問題,前進的路基本半廢。


    既然決定了要自行解決高端芯片製造技術,那速度上就必須盡可能的快。


    否則對5g的發展就會落後國際。


    哪怕到時候再奮起直追,也會麵對各樣的問題。


    正所謂落後就要挨打,關於這點可以說深有體會。


    所以肯定不能把解決當下困境的希望,全部放在國產極紫外光刻機上。


    明知道有新的方向道路,不管最終能否成功,也要盡全力嚐試。


    念頭停留在這裏,徐源整個人反倒放鬆很多。


    半點沒有和趙翔客氣。


    拉來椅子坐到辦公桌對麵,自己倒了杯水,然後才看向趙翔繼續往下說。


    “傳統的極紫外光刻機技術,很多專利都已經被阿麥斯公司掌握,我們想要研究出國產極紫外光刻機,確實是非常大的挑戰。”


    “但誰規定製造高端芯片,就必須要用極紫外光刻機才行。”


    “使用穩態微聚束光源建造光刻工廠,更符合我們的半導體市場情況。”


    “而一旦這條路走通,那麽芯片製造在很大程度上就變成了一個基建項目,這才是我們我們最熟悉且擅長的專屬賽道。”


    趙翔認真聽完徐源說的這些話,內心無比激動之下顯得臉色都有些紅潤。


    作為科研人員,這兩天他一直在關注網上的事。


    剛看到海外對國內5g領域的限製後,下意識便想到了自己的穩態微聚束。


    隻不過此念頭剛在腦海中浮現,很快便又被他主動拋之腦後。


    因為在他看來,穩態微聚束還需要更多實驗,尚不到具體應用光刻製造芯片的程度。


    畢竟國內並沒有適合的實驗條件。


    要知道就連之前驗證,也是借用了柏林那邊的儲存環進行實驗。


    如今位於燕京的最新代高能輻射同步光源,正在如火如荼的建造中,但在正式交付使用之前,穩態微聚束也沒法進一步研究實驗。


    所以他並沒有向科學院,提出建造光刻工廠方案。


    結果沒想到徐源竟主動提了出來,並且還初步通過了科學院的認可。


    眼下海外集體不看好國產極紫外光刻機,都認為這個項目是不可能做到的事。


    其中阿麥斯公司首席執行官卡傑迪,更是接受媒體采訪時,公開宣稱就算公開極紫外光刻機圖紙,也製造不出國產極紫外光刻機。


    正所謂泥人還有三分火氣,更何況是他們這些科研人員。


    看到新聞後心裏都憋著股氣。


    想要為國內科研人員正名,讓海外看看,在半導體領域同樣能實現領先。


    單從這個層麵來看,建造光刻工廠無疑是最合適。


    完全可以想象,當阿麥斯還在為,自己公司的極紫外光刻機驕傲,國內卻已經建造出了光刻工廠,甚至能直接影響到他們的訂單,到時候整個海外的臉色該會有多精彩可想而知。


    也正是由於這些念頭,此刻趙翔越發意動。


    很快便又忍不住拋出了一個問題。


    “你講的這些我都明白,說時候我比任何人都希望看到光刻工廠的建立。”


    “不過穩態微聚束還缺乏實驗,並且就算真的要建造光刻工廠,那也要先把穩態微聚束光源解決。”


    徐源哪能不知道趙翔的真實想法,將對方這句話悉數聽進耳中後,頓時嘴角微微上揚浮現一抹笑容。


    下秒也沒有賣什麽關子,直接開口迴答:


    “直接對穩態微聚束光源的euv光刻實驗,同樣能夠研究穩態微聚束的特性。”


    “至於光刻工廠需要的同步光源,我的想法是,對現在正建造的高能同步輻射光源裝置進行改造,增加其能夠進行光刻的功能。”


    燕京高能同步輻射光源裝置,是科學院之前確定並實施的重大項目。


    屬於國家的基礎科學建設。


    當初正是因為趙翔團隊,借助柏林儲存環成功驗證穩態微聚束概念,成功證明穩態微聚束的價值,加上楊老對建造高能同步輻射光源非常支持,所以項目才會進行的這麽順利。


    但由於當初並沒有往光刻工廠考慮,畢竟此概念還處於實驗初期。


    因此所建造的高能同步輻射光源裝置,主要用於相關的科學實驗。


    不過如果現在進行適當改造的話,使之增加能用於euv光刻的功能,可以讓其變成基礎科學實驗,和光刻工廠並存的重要科學設施。


    他這樣想也是考慮到當下時間緊迫,確實沒有太多時間來建造同步輻射光源。


    否則重新選擇合適地點建造的話,需要花費更長時間不說,經費問題也需要考慮,遠不如在高能同步輻射光源裝置基礎上改造。


    這樣就算光刻工廠研究不成功,也照樣能繼續作為基礎科學設施使用。


    不會給科學院造成多大損失。


    能看出趙翔對這個想法也很支持,聞言立刻點頭附和了句。


    “這確實是一個不錯的選擇。”


    “並且改建起來也不會增添多少麻煩,說不定還能提前交付。”


    說完整個人便又陷入到沉聲中,這次似乎是在心中權衡著自己決定。


    最終。


    趙翔終於像是下定了決心。


    目光堅定的看向徐源,語氣斬釘截鐵的說:


    “我同意你的方案。”


    話音剛落。


    下秒又變得緩和起來,不過臉上笑容卻絲毫沒有消失的跡象。


    “說句實話也就是有徐院士你在,如果換做其他人來負責這個項目,我還真沒有什麽信心能搞出光刻廠。”


    他這句話可一點沒有說錯。


    當初在楊老的介紹下,他有幸能和徐源,共同研究驗證穩態微聚束。


    要不是徐源幫了很多忙,穩態微聚束也沒這麽快進入到驗證階段。


    相當於硬生生加快了穩態微聚束的研究。


    盡管穩態微聚束還不算成熟,但和徐源合作,他還是想努力試試。


    或許真有可能打造出國產首座光刻工廠,給全世界人們一個轟烈震撼。


    如果換做其他人和他談這個事,那絕對不會選擇這樣說。


    徐源對趙翔非常了解,知道對方肯定會同意,因此聽到這個答案後,臉上表情倒也沒有流露出驚訝之色。


    立刻反應過來後,當即主動伸出手和對方握了下。


    “我相信沒問題。”


    向對方說這句話時,滿是胸有成竹。


    因為就在這個時候,他赫然注意到眼前視野中浮現的光幕麵板,新項目的進度條已然發生增長。


    ——


    任務:穩態微聚束光刻工廠


    學科:物理


    進度:20%


    結果:未完成


    很顯然出現的百分之二十進度條,正是先前他們對穩態微聚束的研究成果。


    或許之後的進度條增長會變得比較緩慢,但他相信結果肯定不會讓所有人失望。


    而既然成功邀請趙翔,加入穩態微聚束光刻工廠的重點項目中,那麽接下來首先要做的事,便是完成詳細的項目方案。


    並在科學院會議上討論研究。


    隻有通過正式立項後,才能著手開始實施。


    並對高能同步輻射光源裝置改造。


    徐源和趙翔本就負責穩態微聚束的研究,拿出相關方案自然不在話下。


    於是接下來的半個月時間內,兩人便基本都在一起完善方案。


    另外值得一提的是,期間兩人還特意去了科學館楊老的辦公室。


    向其請教交流探討。


    楊老雖然不建議國家建造粒子對撞機,但對於加速器光源非常支持。


    之前也正是他給了趙翔很多幫助,所以才堅定了趙翔對穩態微聚束驗證的信心。


    毫無疑問。


    當楊老得知要通過進一步研究穩態微聚束,來另辟蹊徑建造光刻工廠,徹底解決國內高端芯片製造難的困境問題。


    對此不但非常高興,還表示全力支持。


    同樣深信不疑,相信國國內能在芯片製造上,走出屬於自己的道路。


    成功建造出光刻工廠。


    ……


    2017年1月20日。


    周五。


    距離除夕還剩一周時間。


    今天上午,科學院充斥著嚴肅氛圍,連院裏的助理研究員都在臉上看不到笑容。


    隻有格外認真的神情。


    在上次科學院緊急會議召開後,才僅僅過去半個月的時間。


    便再次召開會議。


    且參與人數,要遠遠超過上迴。


    這可以說還是從未見過的特殊情況。


    足以證明眼下形式多緊迫。


    在這種時候,緊張嚴肅才是主旋律,任誰也不會依舊笑容滿麵渾身輕鬆。


    “趙哥,放輕鬆點。”


    “沒問題的。”


    此刻科學院內的道路上,徐源拍了拍趙翔的肩膀兩人一起朝大廳趕去。


    因為兩人比較熟絡,私下裏徐源都是以趙哥稱唿。


    而今天他們參加這場會議,主要任務便是報告關於穩態微聚束光刻工廠方案,這決定著此後續項目能否順利的正常展開。


    和上次緊急會議不同,這迴提前進行了通知。


    所以現場參加會議的人員數量,保守估計已經超過了上百人。


    都是半導體相關領域內的院士資深教授。


    趙翔雖也是正教授,但和徐源兩院院士的身份相比還要差不少。


    另外麵對這麽多院士教授作報告,趙翔心裏麵難免會有些緊張。


    “希望等下能順利吧。”


    趙翔聽到徐源的寬慰,暫時頓住腳步,深吸一口氣說了這麽句,然後才又繼續邁動步伐。


    既然確定要參加徐源的這個項目,盡最大努力爭取把光刻工廠給打造出來。


    那他肯定是希望能夠成功。


    若在報告現場,方案便直接被否定,無法通過。


    心裏麵肯定會難以接受。


    有種辜負了徐源的信任的感覺。


    因此感到壓力大,倒也屬於正常情況。


    徐源對大廳隻能說再熟悉不過,從首次在裏麵參加新當選院士頒證儀式,到後麵參加院裏的會議,今天又要到台上報告。


    肯定是輕車熟路。


    完全沒有什麽好擔心的。


    不過他也對趙翔現在的心情表示理解,所以緊接著便又補充了句。


    “放心吧,楊老也會參加上午的會議。”


    是的。


    礙於穩態微聚束光刻工廠的事,楊老也罕見的主動參加了今天的會議。


    以他對穩態微聚束的信任和支持,方案肯定不會有什麽問題。


    這點他很有自信。


    就這樣沒過多久,兩人便順利到達了大廳。


    推開門走到裏麵,能看到已經有不少人到場,其中徐源還看到不少熟悉的身影。


    其中便包括光電技術研究所的羅亞傑院士。


    他們光電技術研究所,也要進行國產極紫外光刻機的研發工作,按照相關規定流程,今天也是要上台進行方案規劃報告的。


    簡單來說就是拿出接下來研究的方向,以及目前正處於什麽階段。


    明確之後院裏起碼能知道進度,好在人員和經費設備等問題上進行支持。


    對此徐源也沒有閑著,趁會議還沒有開始,便帶著趙翔朝羅亞傑等人走過去打起招唿。


    也算順便讓趙翔放鬆下精神。


    能夠清楚看到,相比較上迴見到羅亞傑,今天對方的臉色明顯變得更加憔悴。顯然這最近的半個月,沒少為極紫外光刻機的事操心憂慮。


    但這也是沒有辦法的事情,海外既然已經把招式給擺了出來,不積極去應對又怎麽能行。


    身為科研人員的驕傲還是有的。


    也就在兩人寒暄著的時候,隻見房門再次被人從外麵推開。


    走進來的正是楊老,以及院長白新周,和另外幾位負責人員。


    “楊老好。”


    大廳內的其他人,看到楊老居然也來了,驚喜之下連忙站起身打招唿。


    臉上紛紛堆著笑容。


    畢竟先不說楊老的年齡是場內最大的,單是在科學界的成就便值得其他人敬重。


    ……


    伴隨白新周和楊老入場,接著也沒繼續浪費時間。


    立刻便宣布會議正式開始。


    按照流程白新周簡單講了幾句話後,便直接進入項目方案報告流程。


    對此楊老並沒有發表講話,很明顯是專門為了穩態微聚束光刻工廠來的。


    最終由光電技術研究所的羅亞傑,率先上台進行相關的報告。


    盡管羅亞傑給大家分享了一個好消息,說到他們研究所關於22納米超分辨光刻裝備,最近在技術上迎來了新的突破之後,頓時引起台下不少人熱烈鼓掌。


    但同時大家也都知道,就算攻克了22納米光刻機製造技術,距離阿麥斯的7納米極紫外光刻機,仍有著非常大的差距。


    關鍵這中間的差距,實在讓人看不到追趕甚至超越的希望。


    之後另外兩個進行光刻機研究的研究所,也上台進行了研究報告。


    至於結果則和光電技術研究所方麵差不多。


    就算繼續研究下去,除非出現奇跡,否則幾年內想追趕上海外完全不可能。


    時間一分一秒流逝。


    院長白新周臉色也變得難看起來。


    如果說剛對外宣布,要自主研發國產極紫外光刻機的時候,還非常意氣風發鬥誌昂揚,那麽此刻經過半個月的沉澱認知後,才真正感覺到那種巨大技術差距下麵臨的無力感。


    不過很快白新周突然想到了什麽,趁著其他人下去頓時把目光鎖定了徐源。


    下秒直接開門見山道:


    “徐院士。”


    “我記得你上次提到穩態微聚束,其光源能夠用於euv光刻。”


    “現在有具體方案了嗎?”


    徐源聽到自己的名字,這時候自然不會賣關子,當即便開口迴答起來。


    “是的院長。”


    “這段時間我和驗證了穩態微聚束的趙翔教授,順利完成了關於光刻工廠的相關構想,我向院裏申請盡快開始此項目。”


    說完便和趙翔一起,兩人配合著對已經完成的方案進行講解。


    在場所有人中,有人了解過穩態微聚束,有的人則是首次聽到。


    看見能讓徐源這位兩院院士如此重視,甚至還要求項目盡快立項實施,整個人的好奇心不由得被成功鉤了出來。


    紛紛集中注意力朝徐源望去。


    而隨著穩態微聚束光刻工廠的設想圖,在大廳內屏幕上完全展示出來時,大家目光瞬間便被吸引住。


    “傳統的極紫外光刻機技術,大多數專利都掌握在阿麥斯手中,我們想要在這種情況下研究出,幾乎是一件很難短期做到的事。”


    “所以我在想有沒有另辟蹊徑的辦法,能實現對高端芯片的製造。”


    “最終穩態微聚束出現在了我的腦海。”


    “理論上通過穩態微聚束光源,我們可以直接就建造出一座光刻工廠,利用不同波長的光源,去生產不同規格的芯片。”


    “並且我相信未來國內,會是最大的半導體市場。”


    “光刻工廠也符合我們的國情。”


    ……


    徐源把大家的表情都看在眼裏,不過並沒有這時候去解釋什麽。


    而是按照自己的節奏,對光刻工廠方案進行報告。


    後麵涉及到的相關理論技術等,則由趙翔配合順利完成。


    待把整個方案報告完畢後,整個大廳陷入到了短暫的沉默之中,隨即反應過來台下頓時一陣騷亂。


    大家都討論著這個方案。


    “把芯片製造問題變成了我們最擅長的基建,這絕對是一個天才般的構想。”


    “我們確實不用必須延續海外的道路,誰說生產芯片就必須要有光刻機,建造這樣的光刻工廠才適合我們。”


    “這是一個全新的研究方向,應該一試。”


    “如果光刻工廠真能實現的話,這對全球半導體行業都將是一場革命。”


    “我現在都已經迫不及待,想要看到這座光刻工廠投入使用的樣子了,十萬個零件的極紫外光刻機我們有圖紙也製造不出來,但卻能建造比得上很多台光刻機的光刻工廠。”


    “或許穩態微聚束光刻工廠,就是我們解決困境最大的轉機。”


    ……


    板了半天臉的白新周,此刻總算有了些笑容,對徐源和趙翔提出的光刻工廠方案同樣很看好。


    更何況以往隻要徐源負責的項目,就還沒有過失敗的情況。


    不過他並沒有立刻進行舉手決定,而是先側過臉詢問身旁楊老的看法。


    “楊老。”


    “關於穩態微聚束光刻工廠您怎麽看?”


    楊老本來就是為了這件事,終於到自己的環節,自然是有什麽說什麽。


    “小徐和趙翔早就拿這個方案給我看了,雖然仍有些技術問題需要解決,但我認為還是非常可行的。”


    ……

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