見到眼前的張堅仁此時暴跳如雷，劉希輪和邱夢生交換了一下眼神，隨後起身告辭。
下午的時候，邱夢生將張堅仁的原話如實地向張君正做了匯報。
張君正嗬嗬一笑道：“這位張董骨子裏還是瞧不上我們呀！”
他看著邱夢生說道：“我們還要繼續努力，設計開發製造出更多的高端芯片才行。”
邱夢生點點頭。
“張董，東積電集團那邊現在正在和尼德蘭那邊的艾斯麥爾公司合作研發這種193納米浸沒式光刻機技術方案，他們已經在這種光刻機設備上開始開發相關的光刻工藝，我們是不是也進行跟進？”
邱夢生此時看著張君正開口問道。
“不用。”
張君正開口說道：“現在我們自己這種穩態微聚束光源係統正在開發原型機，再過個兩到三年時間後我們就可以在這個光源係統上開發新型的euv光刻機設備和相關的光刻工藝技術。”
之前張君正設計構思的這種融合了同步輻射光源和自由電子激光器兩種係統的穩態微聚束光源係統技術概念通過唐思德這位高能核物理科學家帶領的數十人科研團隊對他提出來的這種技術概念在實驗室裏麵搭建設實驗設備得到了驗證，證明了這個技術理念是可以行得通的。
現在唐思德帶領的技術團隊正在設計開發一套小型的穩態微聚束光源係統的原型機，原型機需要的電子槍、加速器、激光器等核心部件係統已經開始研製。
而張君正現在大部分精力也放在了這套原型機的設計研製當中，畢竟這關係到君正科技公司接下來十幾二十年在芯片製造技術領域的前途命運，他自然是高度重視的。
目前這些半導體設備產商其實更多地是看重這種157納米波長的光刻光源係統，不過這種光源波長很不好用，並且用這種光源係統在鏡頭、光刻膠、光罩等諸多環節上都能難倒一大片國外技術高手。
東積電集團內部的這位幾年前加入的光刻技術專家林凡穀提出了這種193納米浸沒式光刻技術理念，並且在數年時間裏麵通過跟艾斯麥爾公司的合作開發出了光刻機樣機。
這種技術方案很巧妙地利用193納米波長光源通過純水折射後將波長縮短到了132納米，而且避開了所有157納米的困難，可謂是極為巧妙的技術路線！
不過目前東積電集團和艾斯麥爾集團在共同研發當中已經申請了大量的技術專利，再加上這種技術方案理論上隻能將芯片製程工藝推進到十納米左右，再想繼續推動芯片製程工藝的進步就隻能用亞米利加國那家光源技術企業的13.4納米波長光源技術方案了。
當然，現在得加上君正科技公司正在研製的這種穩態微聚束光源技術方案。
唐思德等人跟張君正在實驗室裏麵搭建的原理樣機出光後獲得了27納米波長光源，最短波長可以做到10納米，不過這樣的原理試驗台係統功率非常小，隻有幾十納焦的水平。
但是這套原理樣機卻讓唐思德和張君正等人狂喜不已，並用這套原理樣機做了相當多的試驗測試，獲得了唐思德和張君正之前非常想要的實驗數據。
雖然說要想讓接下來的光源係統原型機實現穩定可靠長時間工作還需要進行大量的技術攻關，不過這個技術方案已經見到了曙光，張君正是無論如何也要將這種技術路線的光刻機設備給做出來的！
至於這種193納米波長的浸沒式光刻機技術路線，君正科技公司隻要保持技術跟蹤就可以了。
東積電集團和艾斯麥爾合作研發出來的這種193納米浸沒式光刻機設備製造出來後又不是買不到，如果中間實在是買不到的話，張君正還是有自信讓自己的技術團隊仿製出來的。
次日在京城半導體協會舉辦的論壇上，滿頭白發的張堅仁出席了這次的會議。
看到他的亮相，一眾媒體記者紛紛圍過來進行采訪。
“張先生，請問您對參加這次大師討論會有什麽想法？”
“嗬嗬，我對這次受邀出席這次的大師論壇還是感到很榮幸的，也想跟內地這些半導體行業的優秀人才交流一下。”
張堅仁此時笑著說道。
“張先生，請問您對東積電集團現在起訴華芯國際公司技術專利侵權的事情是如何看待的？”
“東積電集團內部現在還在華芯國際公司之間進行溝通。”
張堅仁此時開口說道：“截止到現在，我們東積電集團還是沒有放棄跟華芯國際公司之間達成和解的大門……”
“張先生，現在有專家批評東積電集團在這個時候起訴華芯國際公司是在刻意打壓國內半導體產業的發展，您對此如何看待？”
“我們東積電集團起訴華芯國際公司是純粹的商業行為，完全沒有其他的因素在裏麵！”
麵對這位記者犀利的提問，張堅仁此時收斂起臉上的笑容說道。
“目前華芯國際公司在芯片代工方麵營收隻有東積電集團的四分之一不到，比東番島另外一家東聯電集團芯片代工業務營收還要少，東積電集團為何不起訴後者，偏偏要起訴華芯國際公司呢？”
“你的這個問題涉及到我們東積電集團的商業機密，我不方便迴答。”
張堅仁擺擺手，隨即匆匆結束記者的采訪，在助理的幫助下進入會場。
“剛才是你故意安排記者想刁難我吧？”
進入會場後，張堅仁見到劉希輪後一肚子的火。
劉希輪看了他一眼，“你在說什麽呢？我有必要做出這樣的事情嗎？”
張堅仁冷冷地看了劉希輪一眼，冷哼了聲。
“張先生，歡迎你出席這次論壇活動呀！”
此時科技部部長許君聰在邱夢生等人的陪同下過來，見到張堅仁後他笑著跟後者握手。
張堅仁對這位許部長自然是不敢怠慢，笑著開口道：“許部長，您都出席了這次論壇，我怎麽沒見到君正科技公司的這位張董過來？”
下午的時候，邱夢生將張堅仁的原話如實地向張君正做了匯報。
張君正嗬嗬一笑道：“這位張董骨子裏還是瞧不上我們呀！”
他看著邱夢生說道：“我們還要繼續努力，設計開發製造出更多的高端芯片才行。”
邱夢生點點頭。
“張董，東積電集團那邊現在正在和尼德蘭那邊的艾斯麥爾公司合作研發這種193納米浸沒式光刻機技術方案，他們已經在這種光刻機設備上開始開發相關的光刻工藝，我們是不是也進行跟進？”
邱夢生此時看著張君正開口問道。
“不用。”
張君正開口說道：“現在我們自己這種穩態微聚束光源係統正在開發原型機，再過個兩到三年時間後我們就可以在這個光源係統上開發新型的euv光刻機設備和相關的光刻工藝技術。”
之前張君正設計構思的這種融合了同步輻射光源和自由電子激光器兩種係統的穩態微聚束光源係統技術概念通過唐思德這位高能核物理科學家帶領的數十人科研團隊對他提出來的這種技術概念在實驗室裏麵搭建設實驗設備得到了驗證，證明了這個技術理念是可以行得通的。
現在唐思德帶領的技術團隊正在設計開發一套小型的穩態微聚束光源係統的原型機，原型機需要的電子槍、加速器、激光器等核心部件係統已經開始研製。
而張君正現在大部分精力也放在了這套原型機的設計研製當中，畢竟這關係到君正科技公司接下來十幾二十年在芯片製造技術領域的前途命運，他自然是高度重視的。
目前這些半導體設備產商其實更多地是看重這種157納米波長的光刻光源係統，不過這種光源波長很不好用，並且用這種光源係統在鏡頭、光刻膠、光罩等諸多環節上都能難倒一大片國外技術高手。
東積電集團內部的這位幾年前加入的光刻技術專家林凡穀提出了這種193納米浸沒式光刻技術理念，並且在數年時間裏麵通過跟艾斯麥爾公司的合作開發出了光刻機樣機。
這種技術方案很巧妙地利用193納米波長光源通過純水折射後將波長縮短到了132納米，而且避開了所有157納米的困難，可謂是極為巧妙的技術路線！
不過目前東積電集團和艾斯麥爾集團在共同研發當中已經申請了大量的技術專利，再加上這種技術方案理論上隻能將芯片製程工藝推進到十納米左右，再想繼續推動芯片製程工藝的進步就隻能用亞米利加國那家光源技術企業的13.4納米波長光源技術方案了。
當然，現在得加上君正科技公司正在研製的這種穩態微聚束光源技術方案。
唐思德等人跟張君正在實驗室裏麵搭建的原理樣機出光後獲得了27納米波長光源，最短波長可以做到10納米，不過這樣的原理試驗台係統功率非常小，隻有幾十納焦的水平。
但是這套原理樣機卻讓唐思德和張君正等人狂喜不已，並用這套原理樣機做了相當多的試驗測試，獲得了唐思德和張君正之前非常想要的實驗數據。
雖然說要想讓接下來的光源係統原型機實現穩定可靠長時間工作還需要進行大量的技術攻關，不過這個技術方案已經見到了曙光，張君正是無論如何也要將這種技術路線的光刻機設備給做出來的！
至於這種193納米波長的浸沒式光刻機技術路線，君正科技公司隻要保持技術跟蹤就可以了。
東積電集團和艾斯麥爾合作研發出來的這種193納米浸沒式光刻機設備製造出來後又不是買不到，如果中間實在是買不到的話，張君正還是有自信讓自己的技術團隊仿製出來的。
次日在京城半導體協會舉辦的論壇上，滿頭白發的張堅仁出席了這次的會議。
看到他的亮相，一眾媒體記者紛紛圍過來進行采訪。
“張先生，請問您對參加這次大師討論會有什麽想法？”
“嗬嗬，我對這次受邀出席這次的大師論壇還是感到很榮幸的，也想跟內地這些半導體行業的優秀人才交流一下。”
張堅仁此時笑著說道。
“張先生，請問您對東積電集團現在起訴華芯國際公司技術專利侵權的事情是如何看待的？”
“東積電集團內部現在還在華芯國際公司之間進行溝通。”
張堅仁此時開口說道：“截止到現在，我們東積電集團還是沒有放棄跟華芯國際公司之間達成和解的大門……”
“張先生，現在有專家批評東積電集團在這個時候起訴華芯國際公司是在刻意打壓國內半導體產業的發展，您對此如何看待？”
“我們東積電集團起訴華芯國際公司是純粹的商業行為，完全沒有其他的因素在裏麵！”
麵對這位記者犀利的提問，張堅仁此時收斂起臉上的笑容說道。
“目前華芯國際公司在芯片代工方麵營收隻有東積電集團的四分之一不到，比東番島另外一家東聯電集團芯片代工業務營收還要少，東積電集團為何不起訴後者，偏偏要起訴華芯國際公司呢？”
“你的這個問題涉及到我們東積電集團的商業機密，我不方便迴答。”
張堅仁擺擺手，隨即匆匆結束記者的采訪，在助理的幫助下進入會場。
“剛才是你故意安排記者想刁難我吧？”
進入會場後，張堅仁見到劉希輪後一肚子的火。
劉希輪看了他一眼，“你在說什麽呢？我有必要做出這樣的事情嗎？”
張堅仁冷冷地看了劉希輪一眼，冷哼了聲。
“張先生，歡迎你出席這次論壇活動呀！”
此時科技部部長許君聰在邱夢生等人的陪同下過來，見到張堅仁後他笑著跟後者握手。
張堅仁對這位許部長自然是不敢怠慢，笑著開口道：“許部長，您都出席了這次論壇，我怎麽沒見到君正科技公司的這位張董過來？”