“你準備用這種粒子加速器產生的同步輻射光源來製造光刻機係統？”
楊宗德張大了嘴。
在聽到張君正這個技術概念後，楊宗德一時間處於一種深深的震撼當中。
“這種極紫外光光源係統理論樣機得到驗證後，我們會利用這套光源係統用來設計研發相關的鏡頭組和光刻膠產品技術，另外還會用來對低緯度量子材料進行研發，利用這種這種可調諧的超短脈衝光源來獲得各種材料中電子的能量材料中電子能量、動量、時間多維度分辨信息，打造出這種介於宏觀和微觀物體之間的全新量子探測工具，在這個基礎上設計開發出更多的新型量子材料來。”
張君正開口說道。
“張董，你們要設計構思的這個光源係統技術難度可是世界級的，國外這些高端儀器設備企業未必都能給你們提供這些部件係統……”
張君正笑了笑，“這個情況我當然是清楚的，要不然我也不會讓我們公司的技術研發團隊拚命地研製這些超高精密加工設備和檢測設備了。”
說到這裏，張君正頓了頓後繼續說道：“現在我們研製出了這種磁流變拋光裝置還不行，還得設計研製更高加工精度的離子束拋光設備，要能達到幾十皮米級別的加工精度才能滿足這種極紫外光光刻機設備物鏡係統的設計要求。”
“……”
劉傳東此時瞪大眼睛看著張君正，“張董，你們為什麽硬要自己研製如此高精度的加工設備呢？難道不能利用國外現有的產品技術嗎？”
張君正看了劉傳東一眼，“這些超高精密加工設備國外企業如果沒有亞米利加國方麵的同意誰敢賣給我們？”
“別說這種磁流變拋光裝置了，之前我們自己沒有研製出微米級別的五軸聯動數控機床設備出來之前，這些國外設備企業連五微米級別的高端數控機床設備都不賣給我們，到現在這些企業才開始向我們國內提供這種兩微米級別加工精度的設備。”
張君正看著劉傳東說道：“如果自己手上沒有什麽核心技術，這些國外企業也不會拿出自己的核心技術和我們合作的。”
他看著劉傳東說道：“劉董，是不是這個道理？”
“張董說的在理。”
劉傳東一臉尷尬地說道，不過心裏卻是對張君正公司內部這些科研團隊竟然想設計研發一種他聽都沒聽過的極紫外光源係統和光刻機鏡頭組係統充滿了懷疑。
聽說這種光刻機設備是亞米利加國和歐巴羅眾多技術企業一起進行研製出來的，就憑你這麽一家公司和國內這些研究所就能搞出來，簡直是做夢！
你就使勁完往這種無底洞裏麵砸錢吧，我倒要看看你能在光刻機這種設備技術領域折騰多久，最好是把自己公司折騰倒閉了最好！
一想到這裏，劉傳東嘴角露出一抹冷笑來！
相比於劉傳東，這次過來的楊宗德此時卻是顯得頗為興奮，他沒想到張君正的公司此時竟然已經研製出了如此先進的磁流變拋光裝置！
“這套設備你們有沒有想過用在晶圓拋光平坦化工藝技術上？”
楊宗德指著這套磁流變拋光裝置對張君正問道。
“我們確實有這方麵的想法。”
張君正笑著說道：“我們的邱總認為用這種超精密磁流變拋光裝置用來給晶圓拋光比化學拋光設備更有技術優勢。”
說著，他看了一邊的邱夢生一眼。
“是這樣的。”
邱夢生此時興奮地對楊宗德說道：“現階段用來給晶圓平坦化拋光的化學拋光設備使用的化學拋光液非常複雜，所以晶圓清洗工藝也相當複雜，中間很容易造成晶圓的汙染，也會造成晶圓亞表麵損傷的情況。”
“目前我們在為這套磁流變拋光裝置設計開發一種拋光力分布控製算法模型方麵的研究課題，主要是要搞清楚拋光液和拋光輪對晶圓加工時形成正麵壓力和剪切力分布的具體情況。”
邱夢生開口說道：“把這些東西搞清楚了之後我們就會在晶圓生產線上導入這種設備和工藝流程。”
“邱總，你是世界頂尖的芯片製造科學家，你對張董設計構思的這種新型極紫外光光源係統是怎麽看的？”
楊宗德此時開口問道。
“我認為這是一種前所未有的巨大技術創新。”
邱夢生一臉認真地說道：“這麽一套大型光源係統裝置研製成功後從裝置當中導出數十條高品質的穩態微聚束光源，通過去相幹和調諧處理後完全可以給光刻設備裏麵的晶圓提供百瓦級的曝光光源，到時候大不了給這些光刻機設備設計建造一個專用的工廠車間，整座晶圓工廠生產線廠房設施設計跟傳統的晶圓生產線不一樣而已。”
說到這裏，他看了張君正一眼，繼續說道：“張董的意思是利用這種粒子加速器裝置為晶圓廠裏麵的眾多光刻設備提供光源係統外還要為高能離子注入設備提供高能離子束用來加工製造芯片器件，我本人認為這是一種絕妙無倫的技術概念。”
“這種技術概念做出來後絕對會改寫全球半導體產業的局麵，會徹底讓我們擺脫亞米利加國官府和這些國外半導體設備企業對我們國內的半導體產業的技術掣肘，那時候我們就可以進入半導體技術領域的自由王國了。”
邱夢生一臉鄭重地說道。
“……”
楊宗德此時沉默了好幾秒後才對張君正說道：“張董，你的這種技術概念應該早一點跟我說的，我們科學院方麵可以跟你們一起來推動你的這種技術概念。”
張君正笑了笑說道：“楊院長，目前我們這邊還是處於技術概念狀態，等唐思德教授帶領技術團隊將這個技術概念變成理論樣機係統造出來驗證了這種理論模型後到時候科學院再參與進來也不遲。”
他提出來的這種技術概念關係著君正科技公司在半導體產業上幾十年的戰略發展技術發展方向，現階段隻是處於技術概念狀態，他提出來肯定會遭到各種質疑，到時候就連科學院內部的這些科學家也未必所有人都會認可。
與其浪費口舌和時間，張君正讓君正科技公司內部已經為這個技術概念準備了差不多十多億的預研經費，等到理論樣機出來後驗證了這種技術概念後，到時候公司再往這裏麵投入更多資源將工程樣機造出來進行各種測試。
楊宗德張大了嘴。
在聽到張君正這個技術概念後，楊宗德一時間處於一種深深的震撼當中。
“這種極紫外光光源係統理論樣機得到驗證後，我們會利用這套光源係統用來設計研發相關的鏡頭組和光刻膠產品技術，另外還會用來對低緯度量子材料進行研發，利用這種這種可調諧的超短脈衝光源來獲得各種材料中電子的能量材料中電子能量、動量、時間多維度分辨信息，打造出這種介於宏觀和微觀物體之間的全新量子探測工具，在這個基礎上設計開發出更多的新型量子材料來。”
張君正開口說道。
“張董，你們要設計構思的這個光源係統技術難度可是世界級的，國外這些高端儀器設備企業未必都能給你們提供這些部件係統……”
張君正笑了笑，“這個情況我當然是清楚的，要不然我也不會讓我們公司的技術研發團隊拚命地研製這些超高精密加工設備和檢測設備了。”
說到這裏，張君正頓了頓後繼續說道：“現在我們研製出了這種磁流變拋光裝置還不行，還得設計研製更高加工精度的離子束拋光設備，要能達到幾十皮米級別的加工精度才能滿足這種極紫外光光刻機設備物鏡係統的設計要求。”
“……”
劉傳東此時瞪大眼睛看著張君正，“張董，你們為什麽硬要自己研製如此高精度的加工設備呢？難道不能利用國外現有的產品技術嗎？”
張君正看了劉傳東一眼，“這些超高精密加工設備國外企業如果沒有亞米利加國方麵的同意誰敢賣給我們？”
“別說這種磁流變拋光裝置了，之前我們自己沒有研製出微米級別的五軸聯動數控機床設備出來之前，這些國外設備企業連五微米級別的高端數控機床設備都不賣給我們，到現在這些企業才開始向我們國內提供這種兩微米級別加工精度的設備。”
張君正看著劉傳東說道：“如果自己手上沒有什麽核心技術，這些國外企業也不會拿出自己的核心技術和我們合作的。”
他看著劉傳東說道：“劉董，是不是這個道理？”
“張董說的在理。”
劉傳東一臉尷尬地說道，不過心裏卻是對張君正公司內部這些科研團隊竟然想設計研發一種他聽都沒聽過的極紫外光源係統和光刻機鏡頭組係統充滿了懷疑。
聽說這種光刻機設備是亞米利加國和歐巴羅眾多技術企業一起進行研製出來的，就憑你這麽一家公司和國內這些研究所就能搞出來，簡直是做夢！
你就使勁完往這種無底洞裏麵砸錢吧，我倒要看看你能在光刻機這種設備技術領域折騰多久，最好是把自己公司折騰倒閉了最好！
一想到這裏，劉傳東嘴角露出一抹冷笑來！
相比於劉傳東，這次過來的楊宗德此時卻是顯得頗為興奮，他沒想到張君正的公司此時竟然已經研製出了如此先進的磁流變拋光裝置！
“這套設備你們有沒有想過用在晶圓拋光平坦化工藝技術上？”
楊宗德指著這套磁流變拋光裝置對張君正問道。
“我們確實有這方麵的想法。”
張君正笑著說道：“我們的邱總認為用這種超精密磁流變拋光裝置用來給晶圓拋光比化學拋光設備更有技術優勢。”
說著，他看了一邊的邱夢生一眼。
“是這樣的。”
邱夢生此時興奮地對楊宗德說道：“現階段用來給晶圓平坦化拋光的化學拋光設備使用的化學拋光液非常複雜，所以晶圓清洗工藝也相當複雜，中間很容易造成晶圓的汙染，也會造成晶圓亞表麵損傷的情況。”
“目前我們在為這套磁流變拋光裝置設計開發一種拋光力分布控製算法模型方麵的研究課題，主要是要搞清楚拋光液和拋光輪對晶圓加工時形成正麵壓力和剪切力分布的具體情況。”
邱夢生開口說道：“把這些東西搞清楚了之後我們就會在晶圓生產線上導入這種設備和工藝流程。”
“邱總，你是世界頂尖的芯片製造科學家，你對張董設計構思的這種新型極紫外光光源係統是怎麽看的？”
楊宗德此時開口問道。
“我認為這是一種前所未有的巨大技術創新。”
邱夢生一臉認真地說道：“這麽一套大型光源係統裝置研製成功後從裝置當中導出數十條高品質的穩態微聚束光源，通過去相幹和調諧處理後完全可以給光刻設備裏麵的晶圓提供百瓦級的曝光光源，到時候大不了給這些光刻機設備設計建造一個專用的工廠車間，整座晶圓工廠生產線廠房設施設計跟傳統的晶圓生產線不一樣而已。”
說到這裏，他看了張君正一眼，繼續說道：“張董的意思是利用這種粒子加速器裝置為晶圓廠裏麵的眾多光刻設備提供光源係統外還要為高能離子注入設備提供高能離子束用來加工製造芯片器件，我本人認為這是一種絕妙無倫的技術概念。”
“這種技術概念做出來後絕對會改寫全球半導體產業的局麵，會徹底讓我們擺脫亞米利加國官府和這些國外半導體設備企業對我們國內的半導體產業的技術掣肘，那時候我們就可以進入半導體技術領域的自由王國了。”
邱夢生一臉鄭重地說道。
“……”
楊宗德此時沉默了好幾秒後才對張君正說道：“張董，你的這種技術概念應該早一點跟我說的，我們科學院方麵可以跟你們一起來推動你的這種技術概念。”
張君正笑了笑說道：“楊院長，目前我們這邊還是處於技術概念狀態，等唐思德教授帶領技術團隊將這個技術概念變成理論樣機係統造出來驗證了這種理論模型後到時候科學院再參與進來也不遲。”
他提出來的這種技術概念關係著君正科技公司在半導體產業上幾十年的戰略發展技術發展方向，現階段隻是處於技術概念狀態，他提出來肯定會遭到各種質疑，到時候就連科學院內部的這些科學家也未必所有人都會認可。
與其浪費口舌和時間，張君正讓君正科技公司內部已經為這個技術概念準備了差不多十多億的預研經費，等到理論樣機出來後驗證了這種技術概念後，到時候公司再往這裏麵投入更多資源將工程樣機造出來進行各種測試。