“就叫華辰euv光刻機。”


    江奕辰擺擺手,對取名這個想法,並沒有特別大的興趣。


    隻要能用,這機器就是好的。


    要是不能用,叫啥高大上的名字,也是白搭。


    euv,那是極紫外線光刻機(extreme ultra-violet lithography machine)的簡稱。


    這也算是在業界約定成俗,直接叫這個,大部分人都知道這是什麽類的光刻機。


    “先測試曝光。”


    江奕辰揚手吩咐。


    當然不需要他出手,這群激動的工程師們就嗷嗷叫地開啟了光刻機。


    因為是測試樣機,並沒有啥包裝設計,沒有必要的裝飾板一個沒有,裸機看起來,有些不好看。


    但總體的設計語言很不錯,看起來有種工業的美感。


    這,就是工業上最大的一顆明珠了吧。


    機器啟動,黃小婷選擇了測試程序。


    雙工件台也開始了運轉,一片晶圓被送了上去,而後進入了光刻環節。


    強大的光源係統,讓激光碰上了氣體,激發了極紫外線光。


    複雜的透鏡係統,過濾或是反射掉了那些不需要的光,留下了極為純淨且帶有足夠能量的極紫外光。


    透過掩膜版,照射在了晶圓上麵的光刻膠上。


    隨著光線的照射,光刻膠發生了化學反應,形成微小的電路圖案。


    這個過程需要極高的精度和穩定性,任何微小的偏差都可能導致整個芯片的失效。


    江奕辰緊盯著監控屏幕,觀察著每一個細節。


    euv光刻機的光刻性能直接關係到芯片的質量和產量,而芯片則是現代電子設備的核心。


    “看起來不錯。”


    他微微點頭,對工程師們說道,“等會看看測量結果。”


    工程師們忍著心頭的激動,依然穩步開展著光刻測試。


    隨著時間推移,測試逐漸進入了尾聲。


    晶圓被送出光刻機,進入了下一個環節。


    工程師們輕手輕腳地夾著去做蝕刻等工藝。


    在無塵車間,昏黃的燈光下,一切都順利進行著。


    緊接著就是沉積晶體管,隨後便是檢測。


    孔連華非常熟悉地收集和分析數據,對光刻機的性能進行評估。


    “結果如何?”江奕辰問道。


    孔連華臉上洋溢著難以抑製的喜悅,“江總,結果非常出色!測試結果顯示,光刻精度95%以上,線寬控製誤差小於3納米,這遠遠超過了行業平均水平的85%精度和5納米誤差!”


    這麽優秀?!


    這個結果讓江奕辰都有些愣神。


    但穿著無塵服,戴著口罩的他並做不出更多的表情。


    “當真?”


    “千真萬確!!”


    “太好了!”黃小婷頓時跳了起來。


    其他工程師們也紛紛熱鬧的開口,


    “真是難以置信,我們做到了!”有人激動地揮舞拳頭。


    “江總太強了!”張工程師感慨道。


    “江總,這下我們可以自信地說,我們打破了阿斯麥的光刻機封鎖!”鍾國棟的聲音因激動而微微顫抖。


    辰芯微這半年來,太難了!


    被江奕辰用“秘法”拯救過的二手光刻機,在盡心盡責的工作了3個月後,很快出現了難以救迴的問題,光源可以說報廢了,透鏡係統也幾乎不可用。


    原本的4條二手197nm幹式光刻機生產線,一下子就停了3個。


    不得已,辰芯微推掉了華威等企業的芯片生產訂單。


    僅僅是維持著星辰手機的璿璣芯片。


    經過了一年多的擴大生產,星辰手機銷量快步提升,特別是璿璣2代芯片,主頻提升很大。


    量大管飽之下,銷量出奇的好。


    可銷售越好,肖雅婷就越頭疼。


    因為芯片開始緊缺了。


    如果沒有光刻機,他們的芯片代工廠,將成為了笑料。


    不能生產高製程的芯片,難不成用國產的老舊光刻機,生產65nm的芯片?


    主頻不足1ghz?


    璿璣大火爐芯片?


    江奕辰雖然激動,但忍住了,“大夥別激動,慢慢來,繼續測試。”


    後續要測試的東西,多著呢!


    比如,光刻機的長時間運行穩定性、光源係統的壽命測試、以及在不同工藝條件下的適應性等,都是接下來需要重點關注的測試項目。


    畢竟,一次成功,並不能代表光刻機在所有情況下都能表現出色,隻有經過全麵而嚴格的測試,才能確保光刻機的性能穩定可靠。


    “孔連華,你組織一下,製定一個詳細的測試計劃,我們要對光刻機的各項性能進行全麵評估。”


    江奕辰對孔連華說道。


    孔連華點頭應允。


    接下來幾天裏,工程師們輪流值守,對光刻機進行了不間斷的測試。


    他們仔細觀察光刻機的運行狀態,記錄下每一個數據,對光刻機的性能進行了全麵而深入的評估。


    在連續72小時的高強度運行測試中,光刻機保持了光源穩定性。


    極紫外光源的功率波動率控製在0.05%以內。


    透鏡係統的表現同樣令人振奮,其透過率和均勻性均達到了設計指標,且在長時間運行後並沒有出現明顯衰退。


    江奕辰設計的散熱係統,運行得相當出色。


    江奕辰意氣風發,“小婷,給我下單,辰芯微要12台!”


    “可,我們還沒有定價呢?”黃小婷愣了下。


    “定價,你覺得多少合適?”


    “就目前的樣機來說,至少要1.5億元的成本。”黃小婷道,“當然,具體多少,要詳細測算。”


    江奕辰笑了,“這和國外的比起來,那也便宜太多了啊!”


    “這倒是。”


    黃小婷恍然。


    鍾國棟道,“把生產線建好,不說別的,同時造兩台光刻機是要的。”


    一台光刻機,製造完成至少需要三四個月的時間,這還包括各種精密部件的采購、組裝、調試以及最終的性能驗證。


    考慮到‘華辰euv光刻機’是華辰微電子自主研發的首台設備,其生產周期可能會更長。


    尤其是在初期,需要對每一道工序都進行嚴格的質量控製和技術優化。


    “至於定價,給辰芯微和華威的,成本價加上適當利潤價。至於以後賣出去,一台至少12億。”江奕辰嘴角揚了起來。


    黃小婷有些財迷起來,“話說,什麽時候發獎金?另外,宣傳呢,要不要?”


    ……

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