第416章 把辰芯微做成世界第一的芯片製造公司
學習百倍暴擊，我從此天下無敵 作者：蕭子曰 投票推薦 加入書簽 留言反饋
193nm的幹式duv光刻機對阿斯麥來說，並不是多高大上的技術。
早在上個世紀90年代，他們就整了出來。
隨後因為一個林姓的華裔研究出了浸沒式技術。
其加入了台雞電，在讓台雞電快速擴張的同時，也讓阿斯麥成為了行業中的領頭者。
在泥康這些日企苦苦研究幹式光刻機的時候，他們的浸潤式光刻技術，讓阿斯麥一舉成為了領先。
時至今天，阿斯麥已經研製了euv光刻機，行業領先地位，再難撼動。
但是否意味著阿斯麥永遠不會衰落呢？
並不是這樣。
技術的突破，甚至是技術的更新，帶來技術彎道超車，都可能讓一個原本領先的技術公司，再次落後。
江奕辰就堅定地這麽認為。
也不斷地開展各類延伸性研究。
特別是自己的個人實驗室，並不是江奕辰在主要研究光刻技術的時候，他們就閑著。
相反，江奕辰也給了不少的研究課題，讓孫陽、羅鈺牽頭開展。
隻要他們研究出來的技術，都進入江奕辰奕辰集團的技術魚池。
一旦哪個技術獲得應用，那麽他們這些人也將會有巨大的技術分紅。
如今大的技術不說，但江奕辰將一種電致發光材料交給他們研究之後，還真讓他們整了新的東西。
不過江奕辰現在沒有理會。
新光刻技術正在實驗。
張成研究的高分子溶液暫時失敗，找的數十個材料，雖然取得了一定效果，但卻因為各種原因，沒有辦法采用。
唯獨好一點的，製備純度極高的溶液難度大不說，成本也高，還容易侵蝕襯底，讓光刻的效果消散。
最後江奕辰把重點放在了孔連華的研究上。
孔連華研究的是一種特製的晶體。
在第一階段研究的過程中，孔連華在江奕辰的提醒下就製備了超過10種的符合折光率條件的晶體。
全部超過超純水的折光率。
其中最好的一種晶體，可以讓光的波長，從193nm縮減到90nm。
這意味著可以輕易地製備14nm的芯片。
因為光的波長是橫向尺寸，把光比作彎曲的鑽頭，彎曲成正弦波樣子，那麽彎曲一個來迴，鑽頭的長就是波長。
用這個鑽頭來打孔，就會晃動，這是光波的打在被爆光的麵上的精細程度。
如果采用多重曝光、鰭式場效應晶體管finfet技術，突破到7nn，甚至5nm估計也不成問題。
隻是這種晶體的缺點也較多，特別是高溫形變問題是難點中的難點。
光刻，是光在晶圓上進行雕刻，
光不斷地衝擊，會讓晶圓發熱。
在晶圓上麵再加一個晶體，比增加一個透鏡的難度要大得多。
最後選定的，是镓鎂晶體。
這種晶體，在特殊的技術處理之後，能夠適應較高的溫度，高溫形變上能夠有效改善。
當然，這種也隻是改善，並不能完全解決。
“江總，我們的專家們厲害，把這個係統破解了，增加了一道非接觸式光刻係統。”孔連華解釋道，“就是咱們這麽一搞，出問題後要阿斯麥的工程師來修就不可能的事了。”
不僅不能讓人來修，還不能讓人知道。
江奕辰並沒有直接迴複，而是看著一片測試晶圓的情況。
“檢測結果，28nm工藝。”
就這麽一個測試，就達到了28nm工藝的極限。
顯而易見，镓鎂晶體給193nm的光刻機帶來了巨大的質變。
“單片晶圓光刻後，晶體的溫度達到了80度。”
“再高一些，這個誤差就無法軟件糾正了。”
孔連華鬱悶地說道。
江奕辰擺手，“增設一個降溫係統即可，準備一個類似雙工件台的設備，在每次光刻一個晶圓後，镓鎂晶體同步撤出散熱，換新的晶體上。”
張成在旁邊看著撫掌讚歎，“對啊，既然改都改了，咱們改得更合適一些就行了。”
孔連華點頭應是，“這倒是，看起來我們可以給這個技術取個名字了。”
“就叫改良型非接觸式193nm光刻機。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想隨便把這個技術透露出去。
哪怕是使用的是什麽樣的晶體。
至於製備技術，那就更是機密中的機密。
江奕辰與這些人全部都簽訂了最嚴格的保密協議。
以確保技術不會外泄。
不過想想也比較困難，因為關鍵的技術江奕辰、孔連華親自掌握的。
隻要兩人不外透，就不存在外泄的問題。
孔連華又建議道，“不過，193nm的光刻機，咱們想搞掉也不容易。”
“多研究研究，買不到，我們自己造，造出適合我們使用的，造出更適應未來芯片的光刻機，”江奕辰給眾人打氣。
光刻機自然是頂尖的技術，但一定會有取下的那麽一天。
實驗通過，一些小問題，在江奕辰的提醒下，孔連華和張成立馬準備修改。
在一旁觀摩的黃小婷更是高興得不得了。
“太好了，江總，那我們辰芯微自己的生產線就可以造28nm芯片了！”
“再也不用看台雞電的臉色了。”
黃小婷跟那邊對接過，需要排隊不說，要是沒有一些表示，或是關係，那就更難了。
江奕辰看著眼前的生產線，出了車間，“繼續買光刻機，爭取買到3台193nm幹式光刻機，把生產線再擴充2條。”
“如今的镓鎂晶體帶來的技術提升，可以讓我們往更高的芯片製程前進，接下來你們的工作就是改進和優化工藝製程。”
“特別是多重曝光和鰭式場效應晶體管finfet技術。”
這兩個技術，是有難度，但並非像是光刻機那樣困難。
更多是工藝工程師提升製造工藝。
這就需要不斷的經驗積累以及工藝改進。
黃小婷頓時感覺壓力滿滿，“江總，193nm幹式光刻機，阿斯麥還是能買到的，就是新的需要錢，還得排隊等。”
“我建議買二手的，先把線建起來。同時慢慢地排隊。”
“可以。”江奕辰直接就同意了下來。
“可，這樣下來，得花不少錢。”黃小婷有些糾結。
“買光刻機不要怕花錢，造個預算，把條子報過來。”江奕辰擺手離開，“錢不是你要考慮的，你要考慮的是花多少時間，把辰芯微做成華國，甚至世界第一的芯片製造公司。”
……
早在上個世紀90年代，他們就整了出來。
隨後因為一個林姓的華裔研究出了浸沒式技術。
其加入了台雞電，在讓台雞電快速擴張的同時，也讓阿斯麥成為了行業中的領頭者。
在泥康這些日企苦苦研究幹式光刻機的時候，他們的浸潤式光刻技術，讓阿斯麥一舉成為了領先。
時至今天，阿斯麥已經研製了euv光刻機，行業領先地位，再難撼動。
但是否意味著阿斯麥永遠不會衰落呢？
並不是這樣。
技術的突破，甚至是技術的更新，帶來技術彎道超車，都可能讓一個原本領先的技術公司，再次落後。
江奕辰就堅定地這麽認為。
也不斷地開展各類延伸性研究。
特別是自己的個人實驗室，並不是江奕辰在主要研究光刻技術的時候，他們就閑著。
相反，江奕辰也給了不少的研究課題，讓孫陽、羅鈺牽頭開展。
隻要他們研究出來的技術，都進入江奕辰奕辰集團的技術魚池。
一旦哪個技術獲得應用，那麽他們這些人也將會有巨大的技術分紅。
如今大的技術不說，但江奕辰將一種電致發光材料交給他們研究之後，還真讓他們整了新的東西。
不過江奕辰現在沒有理會。
新光刻技術正在實驗。
張成研究的高分子溶液暫時失敗，找的數十個材料，雖然取得了一定效果，但卻因為各種原因，沒有辦法采用。
唯獨好一點的，製備純度極高的溶液難度大不說，成本也高，還容易侵蝕襯底，讓光刻的效果消散。
最後江奕辰把重點放在了孔連華的研究上。
孔連華研究的是一種特製的晶體。
在第一階段研究的過程中，孔連華在江奕辰的提醒下就製備了超過10種的符合折光率條件的晶體。
全部超過超純水的折光率。
其中最好的一種晶體，可以讓光的波長，從193nm縮減到90nm。
這意味著可以輕易地製備14nm的芯片。
因為光的波長是橫向尺寸，把光比作彎曲的鑽頭，彎曲成正弦波樣子，那麽彎曲一個來迴，鑽頭的長就是波長。
用這個鑽頭來打孔，就會晃動，這是光波的打在被爆光的麵上的精細程度。
如果采用多重曝光、鰭式場效應晶體管finfet技術，突破到7nn，甚至5nm估計也不成問題。
隻是這種晶體的缺點也較多，特別是高溫形變問題是難點中的難點。
光刻，是光在晶圓上進行雕刻，
光不斷地衝擊，會讓晶圓發熱。
在晶圓上麵再加一個晶體，比增加一個透鏡的難度要大得多。
最後選定的，是镓鎂晶體。
這種晶體，在特殊的技術處理之後，能夠適應較高的溫度，高溫形變上能夠有效改善。
當然，這種也隻是改善，並不能完全解決。
“江總，我們的專家們厲害，把這個係統破解了，增加了一道非接觸式光刻係統。”孔連華解釋道，“就是咱們這麽一搞，出問題後要阿斯麥的工程師來修就不可能的事了。”
不僅不能讓人來修，還不能讓人知道。
江奕辰並沒有直接迴複，而是看著一片測試晶圓的情況。
“檢測結果，28nm工藝。”
就這麽一個測試，就達到了28nm工藝的極限。
顯而易見，镓鎂晶體給193nm的光刻機帶來了巨大的質變。
“單片晶圓光刻後，晶體的溫度達到了80度。”
“再高一些，這個誤差就無法軟件糾正了。”
孔連華鬱悶地說道。
江奕辰擺手，“增設一個降溫係統即可，準備一個類似雙工件台的設備，在每次光刻一個晶圓後，镓鎂晶體同步撤出散熱，換新的晶體上。”
張成在旁邊看著撫掌讚歎，“對啊，既然改都改了，咱們改得更合適一些就行了。”
孔連華點頭應是，“這倒是，看起來我們可以給這個技術取個名字了。”
“就叫改良型非接觸式193nm光刻機。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想隨便把這個技術透露出去。
哪怕是使用的是什麽樣的晶體。
至於製備技術，那就更是機密中的機密。
江奕辰與這些人全部都簽訂了最嚴格的保密協議。
以確保技術不會外泄。
不過想想也比較困難，因為關鍵的技術江奕辰、孔連華親自掌握的。
隻要兩人不外透，就不存在外泄的問題。
孔連華又建議道，“不過，193nm的光刻機，咱們想搞掉也不容易。”
“多研究研究，買不到，我們自己造，造出適合我們使用的，造出更適應未來芯片的光刻機，”江奕辰給眾人打氣。
光刻機自然是頂尖的技術，但一定會有取下的那麽一天。
實驗通過，一些小問題，在江奕辰的提醒下，孔連華和張成立馬準備修改。
在一旁觀摩的黃小婷更是高興得不得了。
“太好了，江總，那我們辰芯微自己的生產線就可以造28nm芯片了！”
“再也不用看台雞電的臉色了。”
黃小婷跟那邊對接過，需要排隊不說，要是沒有一些表示，或是關係，那就更難了。
江奕辰看著眼前的生產線，出了車間，“繼續買光刻機，爭取買到3台193nm幹式光刻機，把生產線再擴充2條。”
“如今的镓鎂晶體帶來的技術提升，可以讓我們往更高的芯片製程前進，接下來你們的工作就是改進和優化工藝製程。”
“特別是多重曝光和鰭式場效應晶體管finfet技術。”
這兩個技術，是有難度，但並非像是光刻機那樣困難。
更多是工藝工程師提升製造工藝。
這就需要不斷的經驗積累以及工藝改進。
黃小婷頓時感覺壓力滿滿，“江總，193nm幹式光刻機，阿斯麥還是能買到的，就是新的需要錢，還得排隊等。”
“我建議買二手的，先把線建起來。同時慢慢地排隊。”
“可以。”江奕辰直接就同意了下來。
“可，這樣下來，得花不少錢。”黃小婷有些糾結。
“買光刻機不要怕花錢，造個預算，把條子報過來。”江奕辰擺手離開，“錢不是你要考慮的，你要考慮的是花多少時間，把辰芯微做成華國，甚至世界第一的芯片製造公司。”
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