第170章 euv光刻機?
科技帝國從山寨係統開始 作者：默然的冷灰 投票推薦 加入書簽 留言反饋
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因為我之前有過對90納米芯片使用的八英寸晶圓的改良經驗，所以提升晶圓的品質以及良品率交給我就行。”
聽到林軒的話語，現場許多人紛紛點頭表示認可。
確實，八英寸的晶圓相比六英寸的晶圓，最大的差別就是加工環節。
同一時間段裏，使用八英寸晶圓生產芯片時能省下很多錢。
如果不計較成本的問題，六英寸的晶圓確實可以用，而且有林軒說過會提升晶圓的品質，這樣就更好了。
“所以接下來我們的任務，就是從晶圓切割之後的一係列生產製造問題”
隨著林軒的話語落地，現場的人們也再次點點頭表示知道。
隨後他們紛紛好奇地看著林軒，想看看林軒會怎麽安排任務給他們。
不過此時的林軒卻沒有立馬安排任務，畢竟林軒對於現場許多人根本就不了解，怎麽能安排任務呢？
所以需要林軒說了一下目前遇到的難題有什麽？
他們這些人需要研發什麽設備，然後才能根據他們的意願以及他們擅長什麽而安排任科研務。
“芯片的生產有著很多機器，但一些機器目前我們漢唐科技已經在采用一百五十納米的設備，這種設備改裝一下也能勉強夠用。”
“因為資金有限，所以我們的科研任務是放在絕對無法采購的核心設備，比如光刻機，刻蝕機，高能離子注入機，……”
頓了一下，林軒輕聲接著道：
“其中目前最難的就是光刻機以及刻蝕機，薄膜沉積設備，高能離子注入機。”
“薄膜沉積設備，島國那邊處於世界領先地位，此外我們還必須得攻克薄膜沉積設備使用的化學材料。
刻蝕機方麵也是差不多的情況，目前最難的則是光刻機。”
但這時候有人開口說道：
“光刻機其實也不算難，光刻機說到底不過是設備精度與鏡頭還有掃描曝光係統的問題，在光源上我們的問題不大。
我們大夏有世界領先的激光晶體kbbf，大夏在激光領域也是處於世界領先層次。”
說話的是其中一名年輕的研究生。
大夏許多科技雖然在世人的眼中一直是落後的狀態，但其實在一些特殊的領域，特別是軍l事領域其實並不弱。
其實關於激光這東西大夏也早有研究，而且還有了自己的獨特成果，那就是激光使用的kbbf晶體！
這kbbf晶體可不簡單，大夏發明它後可以說立刻站在了世界激光領域的前沿。
其在二零零九年中斷kbbf晶體出售後，更是讓美迪國的激光研究被迫停止十五年！
直到十五年後，他們才研究出新的激光晶體替代大夏的kbbf晶體，重新開始激光的大規模研究。
所以大夏的激光技術實際上並不弱，無論是現在還是後世都處於世界領先一流層次。
其中大夏的激光產品銷售也是長期達到了全球市場的百分之五十，可以說這是少有的技術領先情況！
“不行，kbbf激光晶體造不了光刻機，kbbf晶體的激光太猛了，射出的激光（euv）極深紫外光太過鋒利。
一不小心就會損壞整個芯片無法使用，除非我們的控製精度與對準成像係統能達到讓人驚訝的程度，否則極深紫外光我們絕對無法使用。”
目前市麵上的光刻機采用的是紫外光源，紫外光源分為紫外光（ev），深紫外光（duv），極紫外光（euv）。
其中光源越到後麵波長就越短，光刻的刀也就越鋒利，對於精度的控製要求就越高。
所以目前世界上沒有光刻機采用極深紫外光（euv），作為光源製作光刻機。
畢竟以目前幾十納米的製程工藝，也不需要這樣高精密的光刻機，目前絕大部分光刻機還是使用紫外光（ev）。
隻有最前沿的45納米製程工藝，才使用euv之前的深紫外光源，也既是duv光刻機。
至於更下一步euv光刻機，那目前更是沒有，之所以沒有，這是因為目前沒有這方麵的需求。
當然真實原因是想研發這樣的euv光刻機需要的成本也太高，不下於從零開始設計研發，所以目前市麵上並沒有這樣的euv光刻機出現。
“沒錯，光刻機可不容易製造，你可能是其他領域的，所以有些想當然了，光是鏡片就能把我們卡死。”
此時人群前排的一個博士，也說出了想造光刻機不容易。
在他看來光刻機最難的就是鏡頭部分。
光刻機需要的鏡麵誤差十分之小，鏡麵誤差不能大於零點零五微米。
這誤差的範圍用個形象的比喻，如果把鏡麵誤差比喻成天涯海角島的話，那麽整個天涯海角島的平整度誤差不能大於十毫米！
而最為恐怖的是這樣的鏡片不隻是一個，因為鏡片這東西其實是有成像誤差的，這成像誤差在光刻生產環節的影響十分之嚴重。
因為偏差一點就會把整個芯片損壞，畢竟那可是幾十納米的大小，光照到了不該照的地方，最後製造成成品時肯定會短路！
所以為了解決成像誤差，光刻機就需要非常多的鏡片來解決成像誤差的問題。
這也是為什麽很多昂貴的攝像機或相機的鏡頭，為什麽會那麽長。
原因其實和光刻機麵臨的問題一樣，為了解決成像誤差的問題，所以相機鏡頭裏麵有著非常多的鏡片！
這些鏡片都是高精度鏡片，相互之間精度要求非常之高，所以會出現一個鏡頭會比相機還貴的現象。
而且別的不說，就說後世的手機鏡頭模塊裏麵，其實有著五到六片鏡片！
而光刻機自然比相機與手機鏡頭要求高，所以現在的光刻機隨著越來越深入幾十納米的層次。
要求越來越高，鏡片的數量也越來越多，目前的光刻機鏡片已經達到了十六到二十個鏡片。
此時的人們不知道的是，在後世能生產幾納米芯片的euv光刻機鏡片已經達到了二十九個！
這也是為什麽林軒情願花費一億資金，也要把那堪稱破爛的鳳凰公司收購的原因。
因為這些鏡片的要求太過嚴苛，為了那幾個專精於鏡麵打磨的八級工，林軒也是舍得出一億的資金把他們買下來！
“我們還是讓林軒先生來決定到底怎麽樣吧。”
人群的前排中，王院士看著隱隱有開始爭吵的趨勢的諸位博士們與研究生們，他緩緩開口說著。
隨著王院士的開口，瞬間，現場陷入了寂靜。
隨後人們將視線看向了林軒這裏，在上千雙眼睛的注視下，林軒也是緩緩開口道：
“關於光刻機的問題，我的決定是直接放棄深紫外光（duv）光刻機，直接研發極深紫外光（euv）光刻機！
而且euv光刻機還沒有太多公司進入這個領域，在這個領域中也沒有太多專利，正好方便我們自由發揮設，設計難度也大幅降低。”
聽到林軒的決定，現場頓時有博士搖頭不認同直接跳過euv光刻機，直接研發euv光刻機這點。
“林先生，雖然因為有kbbf晶體的原因，我們在光源上有優勢。
但鏡平還有成像定位係統可是一個難題，而且光刻機的零件性能要求十分之高，精度也十分之高，這種程度的要求我們能造得出來嗎？
我不是說設計的問題，而是我們有那個材料，有那個加工精度嗎？”
隨著那個發出質疑的博士話語，現場陷入了絕對的寂靜。
確實，國外為什麽比我們先進，原因就是他們除了擁有豐富的工人隊伍。
也就是有著龐大的八級工九級工隊伍外，他們機器上的精度也十分驚人！
光刻機是一個涉及全領域的東西，它涉及光學，機械，材料，化學等等全方麵的領域，被人稱唿為工業之花。
許多東西，大夏如果想設計的話也是可以設計出來，但能設計卻加工不出來啊！
雖然有八級工九級工的存在，但八級工與九級工能造幾個東西？
這個時候，看著陷入沉默的人們，何秘書也是適時的發話道：
“加工精度上不用擔心，因為我們相比“兩旦一星”的艱難時期已經有了很大的變化！
雖然我們機器的加工精度不行，但我大夏有著龐大的工人隊伍！”
說到這裏的何秘書笑著說道：
“這次上麵為了攻克45納米製程工藝也是下狠了心，某位老人還特別發話無論要什麽都全力支持，無論是軍或民都要全力配合。
所以無論是國l營廠還是軍公廠，隻要你能設計出來並且你們支付了委托費用，那我都會幫你們打通環節，就算用手工硬堆，也要堆出你的零件！
此外材料問題也不用擔心，這次上麵也是下狠了心，為了我大夏能將半導體製程工藝推進到45納米分層次。
隻要漢唐科技給錢，某些辛苦收集來的戰略材料也是下了狠心打開倉庫讓你們用，所以材料問題你們不用擔心。
隻要我們有的我們就立馬給你，我們沒有的，我們會想方設法地弄給你們！”
聽到陳秘書的發言，現場陷入了絕對的寂靜！
所有人的眼中都露出了驚駭的眼神，沒有想到上麵竟然如此重視！
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因為我之前有過對90納米芯片使用的八英寸晶圓的改良經驗，所以提升晶圓的品質以及良品率交給我就行。”
聽到林軒的話語，現場許多人紛紛點頭表示認可。
確實，八英寸的晶圓相比六英寸的晶圓，最大的差別就是加工環節。
同一時間段裏，使用八英寸晶圓生產芯片時能省下很多錢。
如果不計較成本的問題，六英寸的晶圓確實可以用，而且有林軒說過會提升晶圓的品質，這樣就更好了。
“所以接下來我們的任務，就是從晶圓切割之後的一係列生產製造問題”
隨著林軒的話語落地，現場的人們也再次點點頭表示知道。
隨後他們紛紛好奇地看著林軒，想看看林軒會怎麽安排任務給他們。
不過此時的林軒卻沒有立馬安排任務，畢竟林軒對於現場許多人根本就不了解，怎麽能安排任務呢？
所以需要林軒說了一下目前遇到的難題有什麽？
他們這些人需要研發什麽設備，然後才能根據他們的意願以及他們擅長什麽而安排任科研務。
“芯片的生產有著很多機器，但一些機器目前我們漢唐科技已經在采用一百五十納米的設備，這種設備改裝一下也能勉強夠用。”
“因為資金有限，所以我們的科研任務是放在絕對無法采購的核心設備，比如光刻機，刻蝕機，高能離子注入機，……”
頓了一下，林軒輕聲接著道：
“其中目前最難的就是光刻機以及刻蝕機，薄膜沉積設備，高能離子注入機。”
“薄膜沉積設備，島國那邊處於世界領先地位，此外我們還必須得攻克薄膜沉積設備使用的化學材料。
刻蝕機方麵也是差不多的情況，目前最難的則是光刻機。”
但這時候有人開口說道：
“光刻機其實也不算難，光刻機說到底不過是設備精度與鏡頭還有掃描曝光係統的問題，在光源上我們的問題不大。
我們大夏有世界領先的激光晶體kbbf，大夏在激光領域也是處於世界領先層次。”
說話的是其中一名年輕的研究生。
大夏許多科技雖然在世人的眼中一直是落後的狀態，但其實在一些特殊的領域，特別是軍l事領域其實並不弱。
其實關於激光這東西大夏也早有研究，而且還有了自己的獨特成果，那就是激光使用的kbbf晶體！
這kbbf晶體可不簡單，大夏發明它後可以說立刻站在了世界激光領域的前沿。
其在二零零九年中斷kbbf晶體出售後，更是讓美迪國的激光研究被迫停止十五年！
直到十五年後，他們才研究出新的激光晶體替代大夏的kbbf晶體，重新開始激光的大規模研究。
所以大夏的激光技術實際上並不弱，無論是現在還是後世都處於世界領先一流層次。
其中大夏的激光產品銷售也是長期達到了全球市場的百分之五十，可以說這是少有的技術領先情況！
“不行，kbbf激光晶體造不了光刻機，kbbf晶體的激光太猛了，射出的激光（euv）極深紫外光太過鋒利。
一不小心就會損壞整個芯片無法使用，除非我們的控製精度與對準成像係統能達到讓人驚訝的程度，否則極深紫外光我們絕對無法使用。”
目前市麵上的光刻機采用的是紫外光源，紫外光源分為紫外光（ev），深紫外光（duv），極紫外光（euv）。
其中光源越到後麵波長就越短，光刻的刀也就越鋒利，對於精度的控製要求就越高。
所以目前世界上沒有光刻機采用極深紫外光（euv），作為光源製作光刻機。
畢竟以目前幾十納米的製程工藝，也不需要這樣高精密的光刻機，目前絕大部分光刻機還是使用紫外光（ev）。
隻有最前沿的45納米製程工藝，才使用euv之前的深紫外光源，也既是duv光刻機。
至於更下一步euv光刻機，那目前更是沒有，之所以沒有，這是因為目前沒有這方麵的需求。
當然真實原因是想研發這樣的euv光刻機需要的成本也太高，不下於從零開始設計研發，所以目前市麵上並沒有這樣的euv光刻機出現。
“沒錯，光刻機可不容易製造，你可能是其他領域的，所以有些想當然了，光是鏡片就能把我們卡死。”
此時人群前排的一個博士，也說出了想造光刻機不容易。
在他看來光刻機最難的就是鏡頭部分。
光刻機需要的鏡麵誤差十分之小，鏡麵誤差不能大於零點零五微米。
這誤差的範圍用個形象的比喻，如果把鏡麵誤差比喻成天涯海角島的話，那麽整個天涯海角島的平整度誤差不能大於十毫米！
而最為恐怖的是這樣的鏡片不隻是一個，因為鏡片這東西其實是有成像誤差的，這成像誤差在光刻生產環節的影響十分之嚴重。
因為偏差一點就會把整個芯片損壞，畢竟那可是幾十納米的大小，光照到了不該照的地方，最後製造成成品時肯定會短路！
所以為了解決成像誤差，光刻機就需要非常多的鏡片來解決成像誤差的問題。
這也是為什麽很多昂貴的攝像機或相機的鏡頭，為什麽會那麽長。
原因其實和光刻機麵臨的問題一樣，為了解決成像誤差的問題，所以相機鏡頭裏麵有著非常多的鏡片！
這些鏡片都是高精度鏡片，相互之間精度要求非常之高，所以會出現一個鏡頭會比相機還貴的現象。
而且別的不說，就說後世的手機鏡頭模塊裏麵，其實有著五到六片鏡片！
而光刻機自然比相機與手機鏡頭要求高，所以現在的光刻機隨著越來越深入幾十納米的層次。
要求越來越高，鏡片的數量也越來越多，目前的光刻機鏡片已經達到了十六到二十個鏡片。
此時的人們不知道的是，在後世能生產幾納米芯片的euv光刻機鏡片已經達到了二十九個！
這也是為什麽林軒情願花費一億資金，也要把那堪稱破爛的鳳凰公司收購的原因。
因為這些鏡片的要求太過嚴苛，為了那幾個專精於鏡麵打磨的八級工，林軒也是舍得出一億的資金把他們買下來！
“我們還是讓林軒先生來決定到底怎麽樣吧。”
人群的前排中，王院士看著隱隱有開始爭吵的趨勢的諸位博士們與研究生們，他緩緩開口說著。
隨著王院士的開口，瞬間，現場陷入了寂靜。
隨後人們將視線看向了林軒這裏，在上千雙眼睛的注視下，林軒也是緩緩開口道：
“關於光刻機的問題，我的決定是直接放棄深紫外光（duv）光刻機，直接研發極深紫外光（euv）光刻機！
而且euv光刻機還沒有太多公司進入這個領域，在這個領域中也沒有太多專利，正好方便我們自由發揮設，設計難度也大幅降低。”
聽到林軒的決定，現場頓時有博士搖頭不認同直接跳過euv光刻機，直接研發euv光刻機這點。
“林先生，雖然因為有kbbf晶體的原因，我們在光源上有優勢。
但鏡平還有成像定位係統可是一個難題，而且光刻機的零件性能要求十分之高，精度也十分之高，這種程度的要求我們能造得出來嗎？
我不是說設計的問題，而是我們有那個材料，有那個加工精度嗎？”
隨著那個發出質疑的博士話語，現場陷入了絕對的寂靜。
確實，國外為什麽比我們先進，原因就是他們除了擁有豐富的工人隊伍。
也就是有著龐大的八級工九級工隊伍外，他們機器上的精度也十分驚人！
光刻機是一個涉及全領域的東西，它涉及光學，機械，材料，化學等等全方麵的領域，被人稱唿為工業之花。
許多東西，大夏如果想設計的話也是可以設計出來，但能設計卻加工不出來啊！
雖然有八級工九級工的存在，但八級工與九級工能造幾個東西？
這個時候，看著陷入沉默的人們，何秘書也是適時的發話道：
“加工精度上不用擔心，因為我們相比“兩旦一星”的艱難時期已經有了很大的變化！
雖然我們機器的加工精度不行，但我大夏有著龐大的工人隊伍！”
說到這裏的何秘書笑著說道：
“這次上麵為了攻克45納米製程工藝也是下狠了心，某位老人還特別發話無論要什麽都全力支持，無論是軍或民都要全力配合。
所以無論是國l營廠還是軍公廠，隻要你能設計出來並且你們支付了委托費用，那我都會幫你們打通環節，就算用手工硬堆，也要堆出你的零件！
此外材料問題也不用擔心，這次上麵也是下狠了心，為了我大夏能將半導體製程工藝推進到45納米分層次。
隻要漢唐科技給錢，某些辛苦收集來的戰略材料也是下了狠心打開倉庫讓你們用，所以材料問題你們不用擔心。
隻要我們有的我們就立馬給你，我們沒有的，我們會想方設法地弄給你們！”
聽到陳秘書的發言，現場陷入了絕對的寂靜！
所有人的眼中都露出了驚駭的眼神，沒有想到上麵竟然如此重視！